| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 文献综述 | 第9-18页 |
| 1.1 MSM型紫外探测器 | 第9-11页 |
| 1.2 不同材料制备的MSM型紫外探测器 | 第11-14页 |
| 1.3 表面纳米金属颗粒增强型紫外探测器 | 第14-16页 |
| 1.4 本论文主要研究的内容 | 第16-18页 |
| 第二章 SiC MSM型紫外探测器的制备 | 第18-29页 |
| 2.1 制备工艺流程设计 | 第18页 |
| 2.2 制备工艺研究 | 第18-28页 |
| 2.2.1 RCA清洗SiC外延片 | 第18-20页 |
| 2.2.2 光刻叉指电极 | 第20-22页 |
| 2.2.3 叉指电极金属层Ni/Au沉积 | 第22-23页 |
| 2.2.4 1~(st)剥离光刻胶 | 第23-25页 |
| 2.2.5 光刻焊盘 | 第25-26页 |
| 2.2.6 焊盘金属层Ti/Ni/Au沉积 | 第26-27页 |
| 2.2.7 2~(nd)剥离光刻胶 | 第27-28页 |
| 2.3 本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 表面纳米金属颗粒增强SiC MSM型紫外探测器研制 | 第29-47页 |
| 3.1 增强型探测器制备工艺设计 | 第29-30页 |
| 3.2 纳米金属颗粒制备 | 第30-36页 |
| 3.2.1 关键工艺参数研究 | 第30-36页 |
| 3.2.1.1 磁控溅射关键工艺参数 | 第31-34页 |
| 3.2.1.2 高温热处理关键工艺参数 | 第34-36页 |
| 3.3 表面纳米金属颗粒增强探测器研制 | 第36-46页 |
| 3.3.1 纳米银颗粒增强探测器制作 | 第36-39页 |
| 3.3.2 纳米铝颗粒增强探测器制作 | 第39-46页 |
| 3.4 本章小结 | 第46-47页 |
| 第四章 碳化硅紫外探测器性能测试分析 | 第47-58页 |
| 4.1 探测器性能测试方法 | 第47-49页 |
| 4.2 SiC MSM型紫外探测器的性能 | 第49-50页 |
| 4.3 纳米颗粒增强SiC MSM型紫外探测器的性能 | 第50-54页 |
| 4.3.1 纳米颗粒增强SiC MSM型紫外探测器的一些特殊性能 | 第50-52页 |
| 4.3.2 纳米银颗粒增强SiC MSM型紫外探测器的性能 | 第52-54页 |
| 4.3.3 纳米铝颗粒增强SiC MSM型紫外探测器的性能 | 第54页 |
| 4.4 各种探测器性能对比及分析 | 第54-57页 |
| 4.5 本章小结 | 第57-58页 |
| 第五章 总结与展望 | 第58-60页 |
| 5.1 总结 | 第58-59页 |
| 5.2 展望 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-66页 |
| 硕士期间主要研究成果 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67页 |
