| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 第1章 绪论 | 第12-30页 |
| 1.1 飞秒激光内加工技术的内涵及意义 | 第13-14页 |
| 1.2 飞秒激光内加工空腔微结构的研究现状 | 第14-27页 |
| 1.2.1 连续空腔结构内加工 | 第16-25页 |
| 1.2.2 离散型微空腔的制作 | 第25-27页 |
| 1.3 本论文的主要研究内容与结构 | 第27-28页 |
| 1.4 本研究的课题来源 | 第28-30页 |
| 第2章 飞秒激光内加工透明电介质材料的理论研究 | 第30-54页 |
| 2.1 飞秒激光与物质相互作用的物理过程 | 第30-37页 |
| 2.1.1 等离子体的产生 | 第31-35页 |
| 2.1.2 弛豫机制 | 第35-37页 |
| 2.2 飞秒激光的加工特点 | 第37-39页 |
| 2.2.1 加工非热熔性 | 第37页 |
| 2.2.2 加工材料广泛性 | 第37-38页 |
| 2.2.3 高三维空间分辨性 | 第38-39页 |
| 2.3 飞秒激光内加工过程中的一些影响因素 | 第39-42页 |
| 2.3.1 聚焦条件 | 第39-41页 |
| 2.3.2 非线性自聚焦效应 | 第41-42页 |
| 2.4 飞秒激光内加工PMMA产生空腔结构的特点和机制 | 第42-53页 |
| 2.4.1 PMMA光致分解过程的光谱学研究 | 第42-48页 |
| 2.4.2 激光内加工空腔结构过程中的质量守恒关系 | 第48-51页 |
| 2.4.3 自清洁机制 | 第51-53页 |
| 2.5 本章小结 | 第53-54页 |
| 第3章 利用钛宝石飞秒激光系统制备三维微流体通道 | 第54-88页 |
| 3.1 钛宝石飞秒激光显微加工实验平台 | 第54-61页 |
| 3.1.1 掺钛蓝宝石（Ti: sapphire）飞秒激光再生放大系统 | 第55-56页 |
| 3.1.2 飞秒激光三维显微加工实验平台的搭建 | 第56-59页 |
| 3.1.3 微流控芯片基底材料的选择 | 第59-61页 |
| 3.2 三维微流体通道制备过程 | 第61-79页 |
| 3.2.1 三维微流体通道的加工过程 | 第61-66页 |
| 3.2.2 水平及垂直方向加工速度的设定 | 第66-68页 |
| 3.2.3 激光功率对通道加工效果的影响 | 第68-71页 |
| 3.2.4 扫描速度对通道加工的影响 | 第71-72页 |
| 3.2.5 加工深度对通道加工效果的影响 | 第72-75页 |
| 3.2.6 扫描次数对通道加工效果影响 | 第75-77页 |
| 3.2.7 激光沉积能量对通道加工效果的影响 | 第77-79页 |
| 3.3 复杂构型三维微流体通道的制备与检测 | 第79-86页 |
| 3.3.1 蛇形中空三维微流控芯片的制作及注液实验 | 第79-82页 |
| 3.3.2 空间螺旋型三维微流控芯片的制作及注液实验 | 第82-85页 |
| 3.3.3 相关技术指标对比 | 第85-86页 |
| 3.4 本章小结 | 第86-88页 |
| 第4章 高重复频率光纤飞秒激光器制备内嵌式微球透镜 | 第88-124页 |
| 4.1 光纤飞秒激光显微加工实验平台的搭建 | 第89-93页 |
| 4.1.1 光纤激光啁啾脉冲放大系统 | 第90-91页 |
| 4.1.2 飞秒激光倒置显微三维加工系统 | 第91-93页 |
| 4.2 内嵌式微球透镜的制备 | 第93-100页 |
| 4.2.1 内嵌式微球透镜的制备过程 | 第93-94页 |
| 4.2.2 激光功率对内嵌式微球透镜制备的影响 | 第94-97页 |
| 4.2.3 聚焦物镜的选择对透镜加工影响 | 第97-99页 |
| 4.2.4 曝光时间和重复频率对透镜加工影响 | 第99-100页 |
| 4.3 微球透镜结构演化过程 | 第100-105页 |
| 4.3.1 微球凹透镜空腔结构演化过程 | 第100-104页 |
| 4.3.2 微球凸透镜折射率变化过程 | 第104-105页 |
| 4.4 内嵌式微球透镜的望远成像 | 第105-109页 |
| 4.5 微球凹透镜的光学参数控制 | 第109-117页 |
| 4.5.1 微球凹透镜的光学性能 | 第109-112页 |
| 4.5.2 形状控制法制备微球凹透镜 | 第112-117页 |
| 4.6 微球透镜阵列的制作 | 第117-120页 |
| 4.6.1 应力波前的传输及退火修复 | 第117-119页 |
| 4.6.2 微球透镜阵列的制作及成像 | 第119-120页 |
| 4.7 本章小结 | 第120-124页 |
| 第5章 结论和展望 | 第124-128页 |
| 5.1 研究结论 | 第124-126页 |
| 5.2 主要创新点 | 第126页 |
| 5.3 未来工作展望 | 第126-128页 |
| 参考文献 | 第128-140页 |
| 攻读博士学位期间所发表的学术论文（含专利） | 第140-142页 |
| 致谢 | 第142-143页 |
