一种低失调垂直型霍尔传感器研究与设计
| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 专用术语注释表 | 第9-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-15页 |
| 1.1 垂直型霍尔传感器发展 | 第10-11页 |
| 1.2 垂直型霍尔传感器研究现状 | 第11-12页 |
| 1.3 垂直型霍尔传感器研究意义 | 第12-13页 |
| 1.4 本文主要设计目标 | 第13-14页 |
| 1.5 本文主要研究内容和结构安排 | 第14-15页 |
| 第二章 霍尔传感器的理论基础 | 第15-28页 |
| 2.1 霍尔器件基本原理 | 第15-16页 |
| 2.2 霍尔器件性能参数 | 第16-21页 |
| 2.2.1 霍尔器件灵敏度 | 第16-18页 |
| 2.2.2 霍尔器件失调 | 第18-19页 |
| 2.2.3 霍尔器件噪声 | 第19-21页 |
| 2.3 CMOS垂直型霍尔器件 | 第21-24页 |
| 2.3.1 四孔垂直型霍尔器件 | 第22页 |
| 2.3.2 四孔耦合垂直型霍尔器件 | 第22-23页 |
| 2.3.3 经过后处理的垂直型霍尔器件 | 第23-24页 |
| 2.4 失调与噪声消除技术 | 第24-27页 |
| 2.4.1 斩波技术 | 第24页 |
| 2.4.2 相关双采样技术 | 第24-26页 |
| 2.4.3 旋转电流技术 | 第26-27页 |
| 2.5 本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 垂直型霍尔器件设计及仿真分析 | 第28-38页 |
| 3.1 器件工艺 | 第28-29页 |
| 3.2 器件结构选择 | 第29-30页 |
| 3.3 器件结构设计 | 第30-31页 |
| 3.4 器件仿真分析 | 第31-34页 |
| 3.5 电流模式仿真分析 | 第34-37页 |
| 3.5.1 电流模式及工作原理 | 第34-36页 |
| 3.5.2 电流模式器件仿真 | 第36-37页 |
| 3.6 本章小结 | 第37-38页 |
| 第四章 垂直型霍尔传感器信号调理电路设计 | 第38-50页 |
| 4.1 整体方案设计 | 第38页 |
| 4.2 旋转电流电路设计 | 第38-41页 |
| 4.3 差分差分放大器（DDA）设计 | 第41-44页 |
| 4.3.1 运算放大器设计 | 第41-43页 |
| 4.3.2 DDA电路设计 | 第43-44页 |
| 4.4 双相关解调电路 | 第44-46页 |
| 4.5 低通滤波器 | 第46-47页 |
| 4.6 负反馈调制电路设计 | 第47-49页 |
| 4.6.1 电路原理 | 第47-48页 |
| 4.6.2 电路设计 | 第48-49页 |
| 4.7 本章小结 | 第49-50页 |
| 第五章 垂直型霍尔传感器电路仿真与版图设计 | 第50-65页 |
| 5.1 电路仿真与分析 | 第50-60页 |
| 5.1.1 旋转电流电路仿真 | 第50-51页 |
| 5.1.2 DDA电路仿真 | 第51-56页 |
| 5.1.3 负反馈调制电路仿真 | 第56页 |
| 5.1.4 整体电路功能仿真 | 第56-60页 |
| 5.2 版图设计与仿真验证 | 第60-64页 |
| 5.2.1 旋转电流电路版图 | 第60-61页 |
| 5.2.2 DDA版图 | 第61-62页 |
| 5.2.3 负反馈调制电路版图 | 第62-63页 |
| 5.2.4 整体电路版图 | 第63-64页 |
| 5.3 本章小结 | 第64-65页 |
| 第六章 总结与展望 | 第65-67页 |
| 6.1 论文总结 | 第65-66页 |
| 6.2 展望 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-70页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间撰写的论文 | 第70-71页 |
| 附录2 攻读硕士学位期间申请的专利 | 第71-72页 |
| 附录3 攻读硕士学位期间参加的科研项目 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73页 |
