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硅油粘滞性对C4F8等离子体处理的硅油表面凝聚行为的影响

中文摘要第1-6页
Abstract第6-10页
第一章 绪论第10-15页
   ·研究背景及意义第10-13页
   ·本小组研究情况第13-14页
   ·本文的研究内容第14-15页
第二章 样品的制备及实验方法第15-21页
   ·实验样品制备与处理第15-17页
     ·实验材料第15页
     ·样品制备第15-16页
     ·硅油液体基片的双频耦合等离子体处理第16-17页
   ·分析测试方法第17-21页
     ·硅油表面形貌的金相分析第17-18页
     ·硅油液体结构的傅立叶变换红外光谱表征方法第18-20页
     ·硅油液体光致发光的荧光光谱分析第20-21页
第三章 C_4F_8等离子体作用的硅油表面微结构特征第21-27页
   ·未处理硅油的表面形貌第21-22页
   ·真空处理后硅油的表面形貌第22-23页
   ·C_4F_8 等离子体放电处理后硅油的表面形貌第23-27页
     ·类树枝状结构第23-24页
     ·蛇形结构第24页
     ·梳状结构第24-25页
     ·圆盘结构第25-26页
     ·正弦结构第26-27页
第四章 硅油基片上类树枝状分形凝聚行为第27-31页
   ·不同粘滞系数硅油表面的类树枝状分形凝聚结构特征第27-29页
   ·硅油粘滞系数差异对C:F 团簇凝聚行为影响的机制第29-31页
第五章 硅油基片上蛇形凝聚行为第31-34页
   ·不同粘滞系数硅油表面的蛇形凝聚结构特征第31-32页
   ·硅油粘滞系数差异对蛇形凝聚行为影响的机制第32-34页
第六章 C_4F_8等离子体处理硅油液体的光致发光性能第34-38页
   ·C_4F_8 等离子体处理硅油液体的光致发光谱第34-35页
   ·硅油液体光致发光的的结构关联第35-38页
第七章 结论及展望第38-42页
   ·本文的主要结果第38页
   ·存在的问题及进一步研究方向第38-42页
参考文献第42-45页
硕士期间发表的论文第45-46页
致谢第46-47页

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