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基于视觉引导的三维纳米触发测头系统的研究

致谢第7-8页
摘要第8-9页
abstract第9-10页
第一章 绪论第16-24页
    1.1 研究背景第16页
    1.2 国内外微纳米三坐标测量机研究现状第16-23页
    1.3 课题研究内容第23页
    1.4 课题来源第23-24页
第二章 三维谐振触发机理的研究第24-36页
    2.1 测球和试样间主要界面力第24-25页
    2.2 三维谐振触发测头触发模型第25-32页
        2.2.1 Z方向接触模型第25-28页
        2.2.2 水平(X和Y)方向接触模型第28-31页
        2.2.3 两种模型在空间上的统一第31-32页
    2.3 测量力大小的估算第32-35页
        2.3.1 水平方向的测量力第32-33页
        2.3.2 Z方向的测量力第33-35页
    2.4 本章小结第35-36页
第三章 三维触发测头系统的设计和实验系统的构建第36-44页
    3.1 测头系统整体设计方案第36页
    3.2 实验系统的搭建和原理第36-38页
    3.3 系统硬件的介绍第38-44页
        3.3.1 测头系统机械结构第38页
        3.3.2 CCD摄像头第38-39页
        3.3.3 石英音叉测头第39-40页
        3.3.4 三维空间定位系统第40-41页
        3.3.5 系统电路的设计第41页
        3.3.6 数据采集卡第41-42页
        3.3.7 实验试样夹具的设计第42-44页
第四章 系统测试软件的设计第44-56页
    4.1 特殊方向接近力曲线测试程序第44-54页
        4.1.1 机器视觉引导算法第44-49页
        4.1.2 运动控制和路径规划算法第49-52页
        4.1.3 基于MFC的界面程序第52-54页
    4.2 微孔三维形貌测量程序的设计第54-56页
第五章 实验测试与分析第56-67页
    5.1 测头系统性能测试第56-64页
        5.1.1 测头的接近力曲线测试第56-58页
        5.1.2 特殊方向接近力曲线测量第58-60页
        5.1.3 力曲线重复性测量实验第60页
        5.1.4 单点触发重复性测量实验第60-63页
        5.1.5 台阶步进测量实验第63-64页
    5.2 视觉引导逼近实验第64-65页
    5.3 三维形貌测量实验第65-67页
第六章 总结与展望第67-69页
    6.1 研究总结第67页
    6.2 工作展望第67-69页
参考文献第69-73页
攻读硕士学位期间研究成果第73-74页

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