| 摘要 | 第3-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-16页 |
| 1.1 引言 | 第10-11页 |
| 1.2 集成光分插复用器的工作原理和研究进展 | 第11-13页 |
| 1.3 十字锥形微环光分插复用器研究的关键问题和分析 | 第13-15页 |
| 1.4 论文的主要研究内容和成果 | 第15-16页 |
| 第二章 十字锥形微环结构光分插复用器的优化设计 | 第16-34页 |
| 2.1 引言 | 第16页 |
| 2.2 十字锥形耦合器 | 第16-21页 |
| 2.2.1 绝缘层上的硅微纳光波导 | 第16-17页 |
| 2.2.2 锥形耦合器的介绍 | 第17-21页 |
| 2.3 微环结构的工作原理与分析方法 | 第21-27页 |
| 2.3.1 微环谐振器的主要性能参数 | 第21-23页 |
| 2.3.2 传输矩阵法 | 第23-25页 |
| 2.3.3 微环谐振器的基本结构与工作原理 | 第25-27页 |
| 2.4 十字锥形微环结构的数值仿真 | 第27-32页 |
| 2.4.1 时域有限差分法 | 第27-29页 |
| 2.4.2 数值仿真结果 | 第29-32页 |
| 2.5 带宽调谐的介绍 | 第32-33页 |
| 2.6 本章小结 | 第33-34页 |
| 第三章 硅基微环光分插复用器的制备工艺 | 第34-45页 |
| 3.1 引言 | 第34页 |
| 3.2 十字锥形微环的制备工艺和流程 | 第34-37页 |
| 3.2.1 电子束光刻 | 第34-35页 |
| 3.2.2 干法刻蚀 | 第35-36页 |
| 3.2.3 薄膜沉积 | 第36-37页 |
| 3.3 十字锥形微环制备的工艺流程 | 第37-41页 |
| 3.4 十字锥形微环的制备 | 第41-44页 |
| 3.5 小结 | 第44-45页 |
| 第四章 十字锥形微环结构光分插复用器的测试 | 第45-52页 |
| 4.1 引言 | 第45页 |
| 4.2 测试平台的搭建与测试方法的选择 | 第45-47页 |
| 4.3 十字锥形微环的性能测试 | 第47-51页 |
| 4.4 小结 | 第51-52页 |
| 第五章 结论与展望 | 第52-54页 |
| 5.1 总结 | 第52页 |
| 5.2 展望 | 第52-54页 |
| 参考文献 | 第54-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 攻读学位期间参加的科研项目和成果 | 第60页 |