面向电沉积薄膜的衬底表面质量评价研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-24页 |
| 1.1 前言 | 第10-11页 |
| 1.2 综合评价方法研究现状 | 第11-17页 |
| 1.2.1 主观赋权评价法 | 第11-13页 |
| 1.2.2 客观赋权评价法 | 第13-17页 |
| 1.3 电沉积薄膜的制备与表征 | 第17-21页 |
| 1.3.1 常用的电化学方法 | 第18-20页 |
| 1.3.2 薄膜的表征技术 | 第20-21页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第21-24页 |
| 第2章 指标体系的遴选及衬底的表征方法 | 第24-34页 |
| 2.1 综合评价的步骤 | 第24-25页 |
| 2.2 评价指标体系的遴选 | 第25-27页 |
| 2.2.1 指标体系遴选目的和设计原则 | 第25页 |
| 2.2.2 指标体系的建立 | 第25-27页 |
| 2.3 评语集的建立 | 第27-28页 |
| 2.4 评价标准的确定 | 第28-29页 |
| 2.4.1 评价标准的构建原则 | 第28页 |
| 2.4.2 评价标准的确定 | 第28-29页 |
| 2.5 衬底试样表征方法 | 第29-32页 |
| 2.5.1 粗糙度的测量方法 | 第29-30页 |
| 2.5.2 平面度的测量方法 | 第30-31页 |
| 2.5.3 亚表面损伤的测量方法 | 第31-32页 |
| 2.5.4 弯曲度的测量方法 | 第32页 |
| 2.6 本章小结 | 第32-34页 |
| 第3章 衬底表面质量评价研究 | 第34-50页 |
| 3.1 评价方法的选择 | 第34-35页 |
| 3.2 指标权重的确定 | 第35-42页 |
| 3.2.1 指标权重方法的选择 | 第35-38页 |
| 3.2.2 熵值法确定指标权重 | 第38-42页 |
| 3.3 建立模糊综合评价模型 | 第42-48页 |
| 3.3.1 确定隶属度矩阵 | 第42-43页 |
| 3.3.2 模糊综合评价 | 第43-45页 |
| 3.3.3 多元非线性回归 | 第45-48页 |
| 3.4 本章小结 | 第48-50页 |
| 第4章 衬底表面质量评价模型应用 | 第50-62页 |
| 4.1 试样制备 | 第50-54页 |
| 4.1.1 机械抛光 | 第50-52页 |
| 4.1.2 液动压悬浮抛光 | 第52-54页 |
| 4.2 试样表征 | 第54-57页 |
| 4.3 评价结果实验对比分析 | 第57-61页 |
| 4.3.1 电沉积薄膜的制备 | 第57-58页 |
| 4.3.2 薄膜的表征 | 第58-61页 |
| 4.4 本章小结 | 第61-62页 |
| 第5章 结论与展望 | 第62-64页 |
| 5.1 结论 | 第62页 |
| 5.2 创新点 | 第62页 |
| 5.3 展望 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 致谢 | 第68-70页 |
| 攻读学位期间参加的科研项目和成果 | 第70页 |
