| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-21页 |
| ·CAD技术 | 第9-12页 |
| ·宏观CAD技术 | 第10-11页 |
| ·微观CAD技术 | 第11-12页 |
| ·表面微加工MEMS几何建模技术的研究 | 第12-17页 |
| ·传统非结构化的工艺模拟几何建模 | 第12-15页 |
| ·结构化几何建模 | 第15-17页 |
| ·表面微加工MEMS建模过程中的可制造性分析 | 第17-18页 |
| ·MEMS几何建模过程中的精化设计 | 第18页 |
| ·本文研究目的和本文组织结构 | 第18-21页 |
| ·表面微加工MEMS几何建模研究中存在的问题 | 第18-19页 |
| ·本文的研究目标和主要内容 | 第19-21页 |
| 第2章 面向精化的表面微加工MEMS建模及可制造性分析框架 | 第21-27页 |
| ·引言 | 第21页 |
| ·面向精化的表面微加工MEMS建模及可制造性分析的功能需求分析 | 第21-22页 |
| ·面向精化的表面微加工MEMS建模及可制造性分析方法概述 | 第22-24页 |
| ·表面微加工MEMS几何加工工艺分析 | 第22页 |
| ·基本概念 | 第22-23页 |
| ·面向精化的表面微加工MEMS建模及可制造性分析方法 | 第23-24页 |
| ·面向精化的表面微加工MEMS建模及可制造性分析框架 | 第24-25页 |
| ·本章小结 | 第25-27页 |
| 第3章 面向精化的表面微加工MEMS建模过程中的可制造性分析 | 第27-37页 |
| ·引言 | 第27页 |
| ·方法概述 | 第27-28页 |
| ·表面微加工MEMS三维模型层实体形状分析 | 第28-31页 |
| ·可制造性问题评价 | 第31-34页 |
| ·过界问题评价 | 第31-32页 |
| ·新增面问题评价 | 第32页 |
| ·减少面问题评价 | 第32-33页 |
| ·向下传播无效性评价 | 第33-34页 |
| ·可制造性问题维护 | 第34-35页 |
| ·本章小结 | 第35-37页 |
| 第4章 三维模型的局部变动设计及工艺模型变动 | 第37-50页 |
| ·引言 | 第37页 |
| ·基本概念以及方法概述 | 第37-38页 |
| ·基本概念 | 第37-38页 |
| ·方法概述 | 第38页 |
| ·面向精化的表面微加工MEMS建模中的预处理过程 | 第38-40页 |
| ·面向精化的表面微加工MEMS建模过程中变动传播算法 | 第40-46页 |
| ·局部变动的传播 | 第40-42页 |
| ·基于可制造性分析的局部变动传播算法 | 第42-44页 |
| ·局部变动实例测试 | 第44-46页 |
| ·工艺模型的变动 | 第46-49页 |
| ·方法概述 | 第46-47页 |
| ·工艺模型变动 | 第47-48页 |
| ·工艺模型变动实例测试 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第5章 原型系统的实现 | 第50-61页 |
| ·引言 | 第50页 |
| ·原型系统开发环境 | 第50-54页 |
| ·ACIS | 第50-53页 |
| ·HOOPS | 第53-54页 |
| ·原型系统的结构与功能 | 第54-56页 |
| ·原型系统的结构 | 第54-55页 |
| ·原型系统界面设计 | 第55页 |
| ·原型系统的功能 | 第55-56页 |
| ·实例测试 | 第56-59页 |
| ·微马达测试 | 第56-57页 |
| ·微驱动器测试 | 第57-59页 |
| ·本章小结 | 第59-61页 |
| 第6章 总结与展望 | 第61-63页 |
| ·总结 | 第61页 |
| ·展望 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-66页 |
| 攻读硕士期间参与发表的学术论文以及所获奖项 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67页 |
