压电陶瓷驱动精密摆镜控制系统的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-20页 |
| ·课题的背景及意义 | 第10页 |
| ·国内外研究现状 | 第10-16页 |
| ·压电陶瓷驱动器研究现状 | 第11-14页 |
| ·偏转台的研究现状 | 第14-15页 |
| ·压电陶瓷控制技术的研究现状 | 第15-16页 |
| ·本论文研究内容 | 第16-20页 |
| ·论文的研究目的 | 第16-17页 |
| ·论文的创新点 | 第17页 |
| ·论文的内容安排 | 第17-20页 |
| 第2章 压电陶瓷特性与两维摆镜的结构 | 第20-28页 |
| ·引言 | 第20页 |
| ·压电陶瓷的基本使用特点 | 第20-24页 |
| ·压电陶瓷的逆压电效应 | 第20-21页 |
| ·压电陶瓷执行器 | 第21页 |
| ·压电陶瓷特性 | 第21-24页 |
| ·两维摆镜的结构 | 第24-27页 |
| ·两维摆镜的驱动结构 | 第24-25页 |
| ·压电致动器 | 第25-26页 |
| ·两维摆镜的电器连接 | 第26-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章 驱动控制系统硬件电路的设计 | 第28-42页 |
| ·驱动控制系统的总体框架 | 第28页 |
| ·控制模块电路的设计 | 第28-34页 |
| ·微处理器 DSP | 第29-31页 |
| ·D/A 数模转换 | 第31-32页 |
| ·A/D 数据采集 | 第32-34页 |
| ·FPGA 外围电路的设计 | 第34页 |
| ·功率放大模块电路的设计 | 第34-38页 |
| ·驱动放大电路的原理 | 第35-36页 |
| ·驱动放大电路的设计 | 第36-38页 |
| ·传感器检测电路的工作原理 | 第38-40页 |
| ·传感器的工作原理 | 第38-39页 |
| ·传感器放大电路的设计 | 第39-40页 |
| ·本章小结 | 第40-42页 |
| 第4章 两维摆镜的数学模型和控制算法 | 第42-52页 |
| ·压电陶瓷执行器的迟滞模型 | 第42-43页 |
| ·RC 等效迟滞模型 | 第42页 |
| ·多项式拟合等效迟滞模型 | 第42-43页 |
| ·两维摆镜的动态迟滞模型 | 第43-47页 |
| ·两维摆镜的线性动态模型 | 第43-44页 |
| ·两维摆镜的动态迟滞模型 | 第44-45页 |
| ·动态迟滞模型的参数辨识 | 第45-47页 |
| ·动态迟滞逆模型和前馈控制器的设计 | 第47-48页 |
| ·基于动态迟滞逆模型复合控制方案 | 第48-50页 |
| ·反馈控制设计—PID 控制 | 第48-49页 |
| ·PID 控制器的调节法则 | 第49-50页 |
| ·本章小结 | 第50-52页 |
| 第5章 两维摆镜驱动控制系统的测试实验 | 第52-62页 |
| ·引言 | 第52页 |
| ·驱动控制系统的电路特性测试 | 第52-57页 |
| ·线性度 | 第53-54页 |
| ·输出稳定性 | 第54-55页 |
| ·零点重复性 | 第55页 |
| ·动态性能测试 | 第55-57页 |
| ·两维摆镜驱动控制系统的性能测试实验 | 第57-60页 |
| ·两维摆镜偏转输出范围 | 第58-59页 |
| ·两维摆镜系统的定位精度及重复精度 | 第59-60页 |
| ·两维摆镜的迟滞性和线性度 | 第60页 |
| ·本章小结 | 第60-62页 |
| 第6章 总结与展望 | 第62-64页 |
| ·总结 | 第62页 |
| ·展望 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-67页 |
| 在学期间学术成果情况 | 第67-68页 |
| 指导教师及作者简介 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69页 |
