| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-15页 |
| ·课题研究的背景，意义及前景展望 | 第11-12页 |
| ·国内外研究现状 | 第12-13页 |
| ·光子晶体的研究现状及未来发展趋势 | 第12页 |
| ·微传感器的研究现状及未来发展趋势 | 第12页 |
| ·介观效应的研究现状 | 第12-13页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第13-15页 |
| 第二章 光子晶体的概念及应用 | 第15-29页 |
| ·光子晶体的定义 | 第15-16页 |
| ·光子晶体的空间结构 | 第16-17页 |
| ·光子晶体的制备 | 第17-22页 |
| ·微加工的方法 | 第17-18页 |
| ·全息光刻 | 第18页 |
| ·胶体晶体自组织 | 第18-20页 |
| ·直写方法 | 第20-21页 |
| ·多光子聚合方法 | 第21页 |
| ·特殊的制备方法 | 第21-22页 |
| ·光子晶体的计算方法 | 第22-24页 |
| ·有限差分时域法 | 第23页 |
| ·平面波展开法 | 第23页 |
| ·传输矩阵法 | 第23-24页 |
| ·散射矩阵法 | 第24页 |
| ·光子晶体的应用举例 | 第24-28页 |
| ·光子晶体光纤 | 第24-26页 |
| ·光纤传感器 | 第26-27页 |
| ·高发射率光子晶体微波天线 | 第27-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 微传感器与 MEMS 技术 | 第29-39页 |
| ·微传感器简介 | 第29-34页 |
| ·传感器的定义 | 第29页 |
| ·微型传感器定义 | 第29-30页 |
| ·微型传感器的分类 | 第30-31页 |
| ·典型的微型传感器 | 第31-33页 |
| ·微型传感器的发展趋势 | 第33-34页 |
| ·MEMS 技术 | 第34-37页 |
| ·MEMS 技术简介 | 第34-35页 |
| ·基于 MEMS 系统的微传感器 | 第35-37页 |
| ·MEMS 技术的发展前景 | 第37页 |
| ·本章小结 | 第37-39页 |
| 第四章 介观物理效应 | 第39-44页 |
| ·介观物理学简介 | 第39-41页 |
| ·介观物理学的定义 | 第39页 |
| ·介观物理的计算方法 | 第39-41页 |
| ·介观物理效应 | 第41-43页 |
| ·介观压阻效应 | 第41-42页 |
| ·介观光电效应 | 第42页 |
| ·介观压光效应 | 第42页 |
| ·介观温光效应 | 第42-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第五章 基于介观压光、介观温光效应传感器设计与仿真 | 第44-57页 |
| ·介观压光型加速度传感器 | 第44-50页 |
| ·介观压光型加速度传感器简介 | 第44-45页 |
| ·介观压光效应 | 第45-46页 |
| ·加速度传感器的结构设计及理论计算 | 第46-47页 |
| ·介观压光型加速度传感器模型的分析及计算 | 第47页 |
| ·加速度计传感器的结构仿真 | 第47-50页 |
| ·镜像一维光子晶体介观温光效应温度传感器 | 第50-55页 |
| ·温度传感器简介 | 第50-51页 |
| ·镜像一维光子晶体 AB N BA N的物理及数学模型 | 第51页 |
| ·传输矩阵法 | 第51-52页 |
| ·1500nm 处 AB 4 BA 4型光子晶体的温度与透射率关系 | 第52-54页 |
| ·温度与透射率关系随介质层的周期数 N 的变化 | 第54-55页 |
| ·本章小结 | 第55-57页 |
| 第六章 总结与前景展望 | 第57-60页 |
| 参考文献 | 第60-65页 |
| 攻读硕士期间发表的论文及所取得的研究成果 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
