| 摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-27页 |
| ·硅微通道板结构概述 | 第13-15页 |
| ·多孔硅简介 | 第13-14页 |
| ·硅微通道板基本结构及研究现状 | 第14-15页 |
| ·氧化锡(SnO_2)概述 | 第15-18页 |
| ·结构性质 | 第15-16页 |
| ·光学性质 | 第16-17页 |
| ·电学性质 | 第17页 |
| ·SnO_2的应用 | 第17-18页 |
| ·超级电容器概述 | 第18-22页 |
| ·超级电容器的特点 | 第18-19页 |
| ·超级电容器的分类 | 第19-20页 |
| ·超级电容器的原理 | 第20-22页 |
| ·气体传感器概述 | 第22-25页 |
| ·气体传感器简介 | 第22-23页 |
| ·气体传感器的分类 | 第23-24页 |
| ·SnO_2系气体传感器的研究现状 | 第24-25页 |
| ·本文的研究内容 | 第25-26页 |
| ·本文的研究意义 | 第26-27页 |
| 第二章 溶胶-凝胶法制备SnO_2及其在微通道中的沉积 | 第27-46页 |
| ·硅微通道板的制作与氧化 | 第27-33页 |
| ·硅微通道板的加工制作 | 第27-31页 |
| ·硅微通道板的氧化 | 第31-33页 |
| ·SnO_2薄膜的制备和沉积 | 第33-45页 |
| ·溶胶-凝胶法制备SnO_2薄膜 | 第33-35页 |
| ·SnO_2薄膜的沉积及表征 | 第35-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第三章 基于微通道板的二氧化锡/镍/硅超级电容器 | 第46-62页 |
| ·双电层超级电容概况 | 第46-47页 |
| ·双电层超级电容研究现状 | 第46-47页 |
| ·硅微通道板在超级电容器中的作用 | 第47页 |
| ·二氧化锡/镍/硅微通道板超级电容器制作 | 第47-52页 |
| ·镍集流层的制备 | 第47-50页 |
| ·SnO_2制备 | 第50-52页 |
| ·二氧化锡/镍/硅微通道板超级电容器的形貌表征 | 第52-57页 |
| ·镍/硅微通道结构的形貌表征 | 第52-53页 |
| ·镍/硅微通道结构的XRD表征 | 第53-54页 |
| ·二氧化锡/镍/硅微通道结构的形貌表征 | 第54-57页 |
| ·二氧化锡/镍/硅微通道板超级电容器的性能表征 | 第57-61页 |
| ·超级电容器性能测试方法 | 第57页 |
| ·循环伏安性能测试 | 第57-59页 |
| ·充放电性能测试 | 第59-60页 |
| ·循环性能测试 | 第60-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第四章 SnO_2系气体传感器的初步探索 | 第62-73页 |
| ·SnO_2系气体传感器工作原理 | 第62-63页 |
| ·SnO_2粉末的制备及表征 | 第63-66页 |
| ·SnO_2粉末的制备 | 第63-64页 |
| ·SnO_2粉末的表征 | 第64-66页 |
| ·厚膜型SnO_2系气体传感器气敏性能的测试 | 第66-70页 |
| ·测试仪器和测试方法简介 | 第66-67页 |
| ·厚膜型SnO_2系气体传感器的气敏测试 | 第67-70页 |
| ·基于硅微通道结构的SnO_2气体传感器件的制作 | 第70-72页 |
| ·基于硅微通道结构的SnO_2系气体传感器的优势 | 第70页 |
| ·基于硅微通道结构的SnO_2气体传感器件结构 | 第70-72页 |
| ·本章小结 | 第72-73页 |
| 第五章 总结与展望 | 第73-75页 |
| ·总结 | 第73页 |
| ·展望 | 第73-75页 |
| 参考文献 | 第75-80页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文及专利目录 | 第80-81页 |
| 致谢 | 第81页 |