基于BST薄膜的可调微波滤波器设计
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-18页 |
| ·研究背景 | 第10-11页 |
| ·可调滤波器的分类以及工作原理 | 第11-15页 |
| ·YIG 铁氧体可调滤波器 | 第11-12页 |
| ·腔体式可调滤波器 | 第12-13页 |
| ·半导体二极管可调滤波器 | 第13页 |
| ·MEMS 可调滤波器 | 第13-14页 |
| ·铁电可调滤波器 | 第14-15页 |
| ·铁电材料及铁电滤波器的研究现状 | 第15-17页 |
| ·论文主要研究内容 | 第17-18页 |
| 第二章 微带型梳状线带通可调滤波器设计 | 第18-45页 |
| ·梳状线滤波器设计原理 | 第18-21页 |
| ·滤波器电路设计 | 第21-32页 |
| ·谐振器基本参数确定 | 第21-24页 |
| ·谐振器间微带耦合参数设计 | 第24-29页 |
| ·微带接地设计 | 第29-31页 |
| ·滤波器平面仿真 | 第31-32页 |
| ·滤波器物理结构设计 | 第32-42页 |
| ·BST 电容结构设计 | 第32-36页 |
| ·滤波器的物理结构 | 第36-38页 |
| ·集成隔直偏压的滤波器 EM 仿真 | 第38-42页 |
| ·工艺误差对器件性能的影响 | 第42-44页 |
| ·电极尺寸误差对器件性能的影响 | 第42页 |
| ·薄膜工艺误差对器件性能的影响 | 第42-43页 |
| ·电镀金厚度对器件性能的影响 | 第43-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第三章 微带半波长开环带通可调滤波器设计 | 第45-60页 |
| ·半开环可调滤波器设计原理 | 第45-48页 |
| ·滤波器的电路结构设计 | 第48-58页 |
| ·谐振器基本参数确定 | 第48-51页 |
| ·滤波器外部 Q 值及耦合系数提取 | 第51-54页 |
| ·滤波器接地线设计 | 第54-55页 |
| ·滤波器偏压设计 | 第55-57页 |
| ·滤波器物理结构版图 | 第57-58页 |
| ·滤波器整体仿真及调谐 | 第58-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第四章 BST 可调滤波器的制作与性能分析 | 第60-74页 |
| ·滤波器完整工艺制作流程 | 第60-62页 |
| ·多晶 BST 薄膜层制作流程与图形化 | 第62-65页 |
| ·BST 薄膜的制备方法分类及特点 | 第62-63页 |
| ·BST 薄膜的制备与处理 | 第63-65页 |
| ·上电极的制备与处理 | 第65-68页 |
| ·可调滤波器的测试与分析 | 第68-73页 |
| ·低频电容测试结果与分析 | 第69-70页 |
| ·器件性能测试结果与分析 | 第70-73页 |
| ·本章小结 | 第73-74页 |
| 第五章 结论 | 第74-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |
| 参考文献 | 第77-81页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第81-82页 |
