| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-22页 |
| ·导言 | 第9页 |
| ·纳米多层膜简介 | 第9-16页 |
| ·纳米多层膜定义及特征参数 | 第9-10页 |
| ·纳米多层膜的性能特点 | 第10-11页 |
| ·多层膜热稳定性 | 第11-16页 |
| ·三叉点模型及其动力学研究进展 | 第16-19页 |
| ·三叉点模型 | 第16-17页 |
| ·晶相界三叉点模型的理论基础 | 第17-18页 |
| ·晶相界三叉点动力学的研究进展 | 第18-19页 |
| ·薄膜沉积方法简介 | 第19-21页 |
| ·本课题研究意义及主要内容 | 第21-22页 |
| ·本课题研究的意义 | 第21页 |
| ·本课题的主要内容 | 第21-22页 |
| 第2章 Cu/Nb 纳米多层膜的制备及表征方法 | 第22-27页 |
| ·纳米多层膜的制备方法 | 第22-23页 |
| ·Cu/Nb 纳米多层膜的热处理 | 第23-24页 |
| ·薄膜检测与表征方法 | 第24-27页 |
| ·形貌分析方法及样品制备 | 第24-25页 |
| ·成分分布分析方法 | 第25-26页 |
| ·晶体结构分析方法 | 第26-27页 |
| 第3章 Cu/Nb 纳米多层膜形貌及结构分析 | 第27-32页 |
| ·Cu/Nb 纳米多层膜沉积速率及薄膜表面均匀性表征 | 第27-28页 |
| ·沉积态 Cu/Nb 纳米多层膜形貌及晶体结构表征 | 第28-29页 |
| ·退火态 Cu/Nb 纳米多层膜形貌及成分表征 | 第29-30页 |
| ·退火过程中出现的问题及解决方案 | 第30-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第4章 NbN 对 Cu/Nb 多层膜与基底之间扩散的抑制作用 | 第32-40页 |
| ·扩散阻挡层材料选择依据 | 第32-33页 |
| ·NbN 扩散阻挡层制备 | 第33页 |
| ·实验结果分析 | 第33-38页 |
| ·晶体结构分析 | 第33-34页 |
| ·表面形貌分析 | 第34-35页 |
| ·成分深度分布分析 | 第35-38页 |
| ·NbN 的扩散阻挡机理及失效机理分析 | 第38-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 第5章 Cu-Nb-Nb 三叉点制备及动力学分析方法 | 第40-54页 |
| ·三叉点阵列样品制备 | 第40-48页 |
| ·异常晶粒长大方法制备单晶 Cu 或大晶粒多晶 Cu | 第40-46页 |
| ·磁控溅射方法在大晶粒多晶 Cu 上镀膜制备 Cu-Nb-Nb 三叉点 | 第46-47页 |
| ·Cu-Nb-Nb 三叉点的表征中遇到的问题 | 第47-48页 |
| ·三叉点动力学分析方法 | 第48-53页 |
| ·基于 Mullins 理论的分析方法 | 第48-49页 |
| ·考虑相界能各向异性的分析方法 | 第49-52页 |
| ·分析方法的可行性分析 | 第52-53页 |
| ·分析方法的评价 | 第53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第6章 结论与展望 | 第54-56页 |
| ·结论 | 第54-55页 |
| ·展望 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-59页 |
| 攻读学位期间发表的论文 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60页 |
