基于原子力显微镜机械刻蚀构筑纳米结构和纳米图案
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-24页 |
| ·纳米科技概述 | 第10-11页 |
| ·纳米加工技术概述 | 第11-14页 |
| ·超精密机械加工 | 第12页 |
| ·光刻加工 | 第12页 |
| ·能量束加工技术 | 第12-13页 |
| ·LIGA 技术 | 第13页 |
| ·纳米压印技术 | 第13-14页 |
| ·基于扫描探针加工技术 | 第14页 |
| ·扫描探针加工技术 | 第14-16页 |
| ·扫描探针显微镜简介 | 第14-15页 |
| ·扫描隧道显微镜 | 第15页 |
| ·原子力显微镜 | 第15-16页 |
| ·基于原子力显微镜的加工技术 | 第16-18页 |
| ·AFM 探针机械刻蚀加工 | 第16页 |
| ·局部阳极氧化纳米加工 | 第16-17页 |
| ·热致刻蚀 | 第17页 |
| ·蘸笔印刷术 | 第17-18页 |
| ·论文的研究意义、存在问题及研究内容 | 第18-20页 |
| ·论文的研究意义 | 第18页 |
| ·目前存在的主要问题 | 第18-19页 |
| ·研究内容 | 第19-20页 |
| 参考文献 | 第20-24页 |
| 第二章 铂和云母基底上纳米图案机械刻蚀技术 | 第24-42页 |
| ·AFM 工作原理 | 第24-26页 |
| ·AFM 机械刻蚀 | 第24-25页 |
| ·AFM 刻蚀探针的选取 | 第25-26页 |
| ·实验部分 | 第26-27页 |
| ·实验仪器 | 第26页 |
| ·基底制备 | 第26页 |
| ·实验过程 | 第26-27页 |
| ·铂的刻蚀结果和分析 | 第27-33页 |
| ·探针施加的刻蚀力与刻蚀深度和宽度的关系 | 第27-29页 |
| ·探针刻蚀速度与刻蚀深度和宽度的关系 | 第29-31页 |
| ·探针循环刻蚀的次数与刻蚀深度和宽度的关系 | 第31-33页 |
| ·纳米图案的刻蚀 | 第33页 |
| ·云母的刻蚀结果和分析 | 第33-40页 |
| ·探针施加的刻蚀力与刻蚀深度和宽度的关系 | 第34-36页 |
| ·探针刻蚀速度与刻蚀深度和宽度的关系 | 第36-38页 |
| ·探针循环刻蚀的次数与刻蚀深度和宽度的关系 | 第38-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 参考文献 | 第41-42页 |
| 第三章 硅基底上加工纳米图案机械刻蚀技术 | 第42-56页 |
| ·引言 | 第42页 |
| ·实验部分 | 第42-43页 |
| ·实验仪器 | 第42-43页 |
| ·基底制备 | 第43页 |
| ·实验过程 | 第43页 |
| ·硅刻蚀加工的结果和分析 | 第43-52页 |
| ·探针运动方向对刻蚀深度和宽度的影响 | 第43-44页 |
| ·探针施加的力对刻蚀深度和宽度的影响 | 第44-47页 |
| ·探针刻蚀速度对刻蚀深度和宽度的影响 | 第47-49页 |
| ·探针循环刻蚀次数对刻蚀深度和宽度的影响 | 第49-51页 |
| ·纳米图案的构筑 | 第51-52页 |
| ·本章小结 | 第52-54页 |
| 参考文献 | 第54-56页 |
| 第四章 金属纳米点阵图案的构筑 | 第56-64页 |
| ·引言 | 第56-57页 |
| ·实验部分 | 第57-58页 |
| ·实验仪器 | 第57页 |
| ·基底制备 | 第57页 |
| ·实验方案 | 第57页 |
| ·实验过程 | 第57-58页 |
| ·结果与分析 | 第58-61页 |
| ·形貌分析 | 第58-60页 |
| ·电学特性分析 | 第60-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-64页 |
| 总结与展望 | 第64-66页 |
| 硕士期间发表和已完成的工作 | 第66-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
