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基于离子注入的Rb/Ba-K离子交换KTP晶体光波导特性研究

中文摘要第1-10页
Abstract第10-13页
符号说明第13-14页
第一章 绪论第14-19页
第二章 波导的线光学理论第19-29页
   ·光波导的结构类型第20-22页
     ·平面光波导第20页
     ·条形光波导第20-21页
     ·圆柱型光波导第21-22页
   ·平面光波导的线光学理论第22-26页
     ·折射定律和全反射第22-23页
     ·空间辐射模第23页
     ·衬底辐射模第23-24页
     ·导模第24-25页
     ·表面模第25-26页
   ·平面波导的导模第26-29页
第三章 实验方法第29-38页
   ·棱镜耦合法第30-33页
   ·端面耦合法第33-34页
   ·卢瑟福背散射分析技术第34-35页
   ·平面波导的折射率拟合方法第35-38页
第四章 离子交换KTP晶体制备平面光波导第38-48页
     ·不同交换温度、不同Rb、Ba摩尔比浓度情况下的离子交换光波导研究第39-43页
   ·Ba扩散深度研究第43-47页
   ·本章小结第47-48页
第五章 离子交换与离子注入KTP晶体制备平面光波导第48-53页
   ·离子注入与离子交换制备KTP波导研究第49-52页
   ·本章小结第52-53页
第六章 离子交换与离子注入KTP晶体制备条形光波导第53-63页
   ·光刻掩膜技术第54-57页
     ·光刻胶第54页
     ·光刻工艺步骤第54-57页
     ·后续工艺第57页
   ·实验过程第57-58页
   ·结果与讨论第58-62页
   ·本章总结第62-63页
第七章 总结第63-65页
   ·本论文的主要工作和结果第63-64页
   ·主要创新点第64-65页
参考文献第65-70页
攻读硕士期间发表和投递的论文第70-71页
致谢第71-72页
学位论文评阅及答辩情况表第72页

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