| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 致谢 | 第8-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-20页 |
| ·汽车轮胎胎压监测系统 | 第14页 |
| ·MEMS 压力传感器及应用 | 第14-17页 |
| ·微机电系统的起源与发展 | 第14-15页 |
| ·MEMS 压力传感器 | 第15-17页 |
| ·MEMS 压力传感器的应用 | 第17页 |
| ·本论文的课题来源 | 第17页 |
| ·本论文研究的目的、意义及国内外现状 | 第17-19页 |
| ·论文研究的目的 | 第17-18页 |
| ·论文研究的意义 | 第18页 |
| ·国内外的研究现状 | 第18-19页 |
| ·论文纲要 | 第19-20页 |
| 第二章 接触式电容压力传感器的原理与特性 | 第20-25页 |
| ·电容式压力传感器 | 第20-21页 |
| ·电容式压力传感器的基本结构 | 第20页 |
| ·电容式压力传感器的工作原理 | 第20-21页 |
| ·接触式电容压力传感器的分析 | 第21-23页 |
| ·接触式电容压力传感器的基本结构 | 第21-22页 |
| ·接触式电容压力传感器的工作原理 | 第22-23页 |
| ·接触式电容压力传感器的主要技术指标 | 第23-24页 |
| ·灵敏度 | 第23页 |
| ·线性度 | 第23-24页 |
| ·温度范围 | 第24页 |
| ·测量范围 | 第24页 |
| ·传感器的温度系数 | 第24页 |
| ·小结 | 第24-25页 |
| 第三章 用于 TPMS 的接触式电容压力传感器结构设计与分析 | 第25-40页 |
| ·接触式电容压力传感器的理论分析 | 第25-27页 |
| ·可动弹性极板的复合膜结构和电致伸缩增强效应 | 第27-29页 |
| ·固定极板的结构 | 第29-31页 |
| ·接触式电容压力传感器的有限元分析 | 第31-38页 |
| ·有限元分析简介 | 第31页 |
| ·有限元分析的步骤 | 第31-32页 |
| ·前处理及材料特性 | 第32页 |
| ·施加、约束及求解 | 第32-38页 |
| ·电容输出量的计算 | 第38-39页 |
| ·小结 | 第39-40页 |
| 第四章 接触式电容压力传感器的加工工艺 | 第40-51页 |
| ·影响电容传感器精度的因素 | 第40-41页 |
| ·环境因素的影响 | 第40页 |
| ·边缘效应的影响 | 第40页 |
| ·寄生电容的影响 | 第40-41页 |
| ·接触式电容压力传感器的主要加工工艺简介 | 第41-46页 |
| ·工艺设计的基本原则 | 第41页 |
| ·材料的选择 | 第41页 |
| ·电容压力传感器的主要加工工艺 | 第41-46页 |
| ·接触式电容压力传感工艺流程 | 第46-50页 |
| ·下膜片的制备 | 第46-48页 |
| ·上膜片的加工 | 第48-49页 |
| ·硅直接键合及其后续过程 | 第49-50页 |
| ·小结 | 第50-51页 |
| 第五章 展望与总结 | 第51-53页 |
| ·总结 | 第51页 |
| ·展望 | 第51-53页 |
| 参考文献 | 第53-56页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第56-57页 |