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大功率磁控溅射镀膜开关电源的研究与设计

摘要第1-5页
Abstract第5-9页
1 绪论第9-13页
   ·磁控溅射的分类第9-10页
   ·国内外研究情况及水平第10-11页
   ·电源各项指标第11页
   ·主要内容第11页
   ·小节第11-13页
2 主电路的设计第13-37页
   ·开关变换器的选择第14-16页
     ·拓扑结构的选择第14-15页
     ·MOSFET的选择第15-16页
   ·软开关第16-22页
     ·软开关的选择第16-17页
     ·软开关全桥变换的设计第17-22页
   ·滤波电容、电感的设计第22-25页
     ·输入滤波电容、电感的设计第22-24页
     ·输出滤波电感、电容的设计第24-25页
   ·输出整流二极管的设计第25-26页
   ·变压器的设计第26-35页
     ·变压器的工作状态第26-27页
     ·高频变压器磁性材料与磁芯结构的选择第27-35页
   ·隔直电容的设计第35页
   ·小结第35-37页
3 控制驱动电路的设计第37-48页
   ·保护电路第37-42页
     ·各种保护电路第37-39页
     ·保护电路的设计第39-42页
   ·驱动电路的设计第42-47页
     ·MOSFET驱动电路的种类第42-43页
     ·MOSFET驱动电路的设计第43-47页
   ·小结第47-48页
4 辅助开关电源电路的设计第48-56页
   ·电路设计第48-50页
     ·TOP204芯片第48-49页
     ·电路原理图第49-50页
   ·电路原理图各部分第50-54页
     ·输入整流滤波电路第50页
     ·漏极钳位电路第50-51页
     ·变压器的设计第51-53页
     ·输出整流滤波电路第53页
     ·反馈回路的设计第53-54页
     ·实验结果第54页
   ·小结第54-56页
5 实验电路的仿真第56-67页
   ·软开关电路的仿真第56-60页
     ·全桥软开关的建模第56-58页
     ·全桥软开关的仿真第58-60页
   ·反馈电路的仿真第60-66页
     ·反馈电路的建模第60-64页
     ·反馈电路的仿真第64-66页
   ·小结第66-67页
结论第67-68页
致谢第68-69页
参考文献第69-71页
附录A 电流电压保护电路第71-72页
攻读学位期间的研究成果第72页

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