大尺寸硅片超精密磨床磨削系统动态仿真技术研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-20页 |
| ·课题研究背景 | 第10-11页 |
| ·硅片加工工艺概述 | 第11-18页 |
| ·传统硅片加工工艺 | 第11-12页 |
| ·硅片磨削技术的发展 | 第12-14页 |
| ·硅片超精密磨床概述 | 第14-18页 |
| ·课题研究意义及主要内容 | 第18-19页 |
| ·课题研究意义 | 第18页 |
| ·主要研究内容 | 第18-19页 |
| 本章小结 | 第19-20页 |
| 第二章 硅片旋转磨削原理及结构分析 | 第20-34页 |
| ·硅片自旋转磨削原理 | 第20-21页 |
| ·硅片自旋转磨削运动学建模 | 第21-22页 |
| ·磨削系统结构分析 | 第22-33页 |
| ·磨削主系统 | 第23-26页 |
| ·滚珠丝杠螺母副 | 第26-28页 |
| ·辅助磨削系统 | 第28-33页 |
| 本章小结 | 第33-34页 |
| 第三章 硅片超精密磨床磨削系统虚拟样机系统开发 | 第34-53页 |
| ·虚拟样机技术概述 | 第34-35页 |
| ·虚拟样机开发所涉及的关键技术 | 第35-43页 |
| ·异步模式下 Pro/E 的二次开发 | 第35-40页 |
| ·三维图形变换技术 | 第40-42页 |
| ·逐帧动画技术 | 第42-43页 |
| ·硅片超精密磨床虚拟样机的搭建及动态仿真的实现 | 第43-52页 |
| ·虚拟样机总体设计 | 第43-46页 |
| ·软硬件配置 | 第46页 |
| ·磨削系统的建模 | 第46-47页 |
| ·虚拟装配及干涉检查 | 第47-49页 |
| ·动态仿真的实现 | 第49-52页 |
| 本章小结 | 第52-53页 |
| 第四章 磨削系统运动分析 | 第53-60页 |
| ·磨削系统关键部件运动分析 | 第53-56页 |
| ·磨削砂轮上某一点相对被加工硅片的运动轨迹分析 | 第56-57页 |
| ·不同磨削参数对硅片面型的影响 | 第57-59页 |
| 本章小结 | 第59-60页 |
| 结论 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-64页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
