| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-15页 |
| ·垂直腔面发射激光器的发展历史 | 第7-9页 |
| ·VCSEL的几种结构概述 | 第9-12页 |
| ·垂直腔面发射激光器的应用及其发展趋势 | 第12-14页 |
| ·本论文的主要研究内容概述 | 第14-15页 |
| 第二章 VCSEL的相关理论基础 | 第15-29页 |
| ·半导体发光 | 第15-22页 |
| ·垂直谐振腔 | 第22-29页 |
| 第三章 670nm VCSEL的制备工艺 | 第29-41页 |
| ·概述 | 第29页 |
| ·新型VCSEL及其光刻板的制作 | 第29-34页 |
| ·光刻工艺 | 第34-36页 |
| ·湿法腐蚀工艺 | 第36-37页 |
| ·湿法氧化工艺 | 第37-39页 |
| ·欧姆接触 | 第39-41页 |
| 第四章 新型VCSEL的散热、出光性能 | 第41-53页 |
| ·新型VCSEL实验结果测试 | 第41-42页 |
| ·散热性能 | 第42-49页 |
| ·出光性能 | 第49-53页 |
| 结论 | 第53-54页 |
| 致谢 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-56页 |