| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-12页 |
| ·引言 | 第7页 |
| ·VCSEL的特性及优点 | 第7-8页 |
| ·VCSEL的发展现状及应用 | 第8-10页 |
| ·本论文的主要工作 | 第10-12页 |
| 第二章 VCSEL的理论分析 | 第12-21页 |
| ·VCSEL的阈值条件 | 第12-14页 |
| ·横向光限制因子 | 第14-16页 |
| ·发热和散热 | 第16-21页 |
| 第三章 新型电极结构的VCSEL阵列及其热特性分析 | 第21-36页 |
| ·光刻版的设计 | 第21-23页 |
| ·外延片结构及处理方法 | 第23-33页 |
| ·VCSEL阵列器件的热特性优化 | 第33-36页 |
| 第四章 可见光垂直腔面发射激光器的工艺研究及制备 | 第36-46页 |
| ·光刻工艺 | 第36-39页 |
| ·湿法刻蚀工艺 | 第39-40页 |
| ·湿法氧化 | 第40-43页 |
| ·欧姆接触工艺研究 | 第43-44页 |
| ·可见光垂直腔面发射激光器阵列的制备过程 | 第44-46页 |
| 第五章 器件的测试及分析 | 第46-49页 |
| 结论 | 第49-50页 |
| 致谢 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-52页 |