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基于PSD的高精度位移传感器的研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-7页
第一章 绪论第7-11页
   ·引言第7-8页
   ·国内外研究现状和发展趋势第8-10页
   ·本文的目的第10-11页
第二章 光电探测器的选择第11-18页
   ·PSD与CCD特性比较第11页
   ·PSD优越性第11-12页
   ·PSD的简单介绍第12-13页
   ·一维PSD商品的参数示例第13页
   ·二维PSD商品参数第13-15页
   ·各种PSD研制品简介第15-18页
第三章 激光三角法第18-34页
   ·激光三角法测量光路的分类第18-21页
   ·提高激光三角法测量精度的方法第21-25页
   ·PSD在三角测量中的应用第25-29页
   ·PSD的定位机理第29-34页
第四章 基于PSD的激光位移传感系统的设计分析第34-43页
   ·一维PSD的工作原理及特点第34页
   ·结构原理与参数分析第34-41页
   ·影响测量精度的因素及消除方法第41-43页
结论第43-44页
致谢第44-45页
参考文献第45-46页

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