| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-15页 |
| 第1章 绪论 | 第15-31页 |
| ·微机械的发展现状 | 第15-16页 |
| ·微细加工技术 | 第16-21页 |
| ·微细铣削 | 第16-17页 |
| ·微细车削 | 第17-18页 |
| ·MEMS 制造技术 | 第18页 |
| ·微细激光加工 | 第18-19页 |
| ·微细电化学加工 | 第19-20页 |
| ·微细超声加工技术 | 第20页 |
| ·微细线切割加工 | 第20-21页 |
| ·微细电火花加工技术 | 第21页 |
| ·微细电火花加工技术的最新研究进展 | 第21-26页 |
| ·微细电极的制作技术 | 第22-24页 |
| ·低电压放电加工技术 | 第24-25页 |
| ·气中放电沉积与去除可逆加工技术 | 第25页 |
| ·微三维结构的微细电火花加工技术 | 第25-26页 |
| ·微细电火花加工装置的研究进展 | 第26-29页 |
| ·课题研究的目的和意义 | 第29-30页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第30-31页 |
| 第2章 基于直线电机的微细电火花加工系统的设计与实现 | 第31-49页 |
| ·微细电火花加工方法的原理、特点及对加工系统的要求 | 第31-34页 |
| ·微细电火花加工的原理 | 第31-32页 |
| ·微细电火花加工的特点 | 第32-33页 |
| ·微细电火花加工对加工系统的技术要求 | 第33-34页 |
| ·微细电火花加工系统应具备的功能 | 第34页 |
| ·基于直线电机的微细电火花工系统的总体方案 | 第34页 |
| ·基于直线电机的微细电火花加工系统的设计 | 第34-47页 |
| ·基于直线电机的精密伺服机构 | 第35-38页 |
| ·旋转主轴系统及上电装置 | 第38-39页 |
| ·高精度花岗岩机床本体和工作台 | 第39-42页 |
| ·机器视觉显微系统 | 第42-43页 |
| ·工作液循环系统 | 第43页 |
| ·微能脉冲电源的设计 | 第43-45页 |
| ·微细电火花加工间隙放电状态检测电路 | 第45-47页 |
| ·基于直线电机的微细电火花加工系统的实现 | 第47页 |
| ·本章小结 | 第47-49页 |
| 第3章 基于直线电机的微细电火花加工伺服控制系统研究 | 第49-61页 |
| ·基于直线电机的伺服控制系统 | 第49-50页 |
| ·伺服控制系统组成 | 第49-50页 |
| ·伺服控制系统性能分析 | 第50页 |
| ·基于直线电机的伺服控制系统 PID 调整 | 第50-56页 |
| ·PID 控制器的工作原理 | 第50-52页 |
| ·PID 及相关控制参数调整 | 第52-56页 |
| ·直线电机的端部效应及其改善 | 第56-60页 |
| ·直线电机的端部效应 | 第56-57页 |
| ·纵向端部效应及其改善 | 第57-59页 |
| ·横向端部效应及其改善 | 第59-60页 |
| ·基于直线电机的微细电火花加工伺服进给控制策略 | 第60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 第4章 微细电火花加工的CAM技术 | 第61-76页 |
| ·微三维结构的微细电火花铣削加工技术 | 第61-62页 |
| ·微细电火花分层铣削加工的CAM 技术 | 第62-69页 |
| ·微细电火花铣削加工的分层策略 | 第62-63页 |
| ·电极运动轨迹规划 | 第63-64页 |
| ·加工表面修整 | 第64-67页 |
| ·电极损耗的补偿策略 | 第67-69页 |
| ·微细电火花铣削加工专用CAM 软件开发 | 第69-75页 |
| ·开发平台 | 第69-70页 |
| ·开发工具 | 第70-71页 |
| ·开发模式与开发环境 | 第71页 |
| ·微细电火花铣削加工专用CAM 软件的体系结构 | 第71-72页 |
| ·辅助建模的实现 | 第72-73页 |
| ·分层铣削及电极损耗实时补偿的实现 | 第73-74页 |
| ·后置处理模块的实现 | 第74-75页 |
| ·本章小结 | 第75-76页 |
| 第5章 微细电火花加工系统基础工艺实验研究 | 第76-93页 |
| ·工艺实验研究 | 第76-81页 |
| ·电参数对微细电火花加工效率的影响 | 第76-78页 |
| ·电参数对工件表面粗糙度的影响 | 第78-80页 |
| ·电极转速、工作液介质对加工效率和电极相对损耗率的影响 | 第80-81页 |
| ·块电极电火花磨削微细轴的研究 | 第81-89页 |
| ·微细轴电火花磨削加工存在问题及解决途径 | 第83页 |
| ·块电极径向进给法电火花磨削微细轴的研究 | 第83-87页 |
| ·块电极轴向进给法电火花磨削微细轴的研究 | 第87-88页 |
| ·径向进给法和轴向进给法的联合应用研究 | 第88-89页 |
| ·刃口电极电火花磨削微细轴的研究 | 第89-91页 |
| ·微细孔加工实验 | 第91-92页 |
| ·本章小结 | 第92-93页 |
| 第6章 三维微结构电火花加工实验研究 | 第93-105页 |
| ·微细槽加工实验 | 第93-96页 |
| ·微细异形槽加工实验 | 第93-94页 |
| ·微细槽阵列和“HIT”文字加工实验 | 第94-95页 |
| ·微细梁加工实验 | 第95-96页 |
| ·微细结构加工实验 | 第96页 |
| ·微细三维结构铣削加工实验 | 第96-100页 |
| ·微细外齿轮加工实验 | 第97-98页 |
| ·微细内齿轮加工实验 | 第98-99页 |
| ·微细半球的铣削加工实验 | 第99-100页 |
| ·微细自由曲面的微细电火花铣削加工实验 | 第100-104页 |
| ·微细自由曲面的加工实验 | 第101页 |
| ·微细鼠标的加工实验 | 第101-104页 |
| ·本章小结 | 第104-105页 |
| 结论 | 第105-107页 |
| 参考文献 | 第107-119页 |
| 攻读博士学位期间发表的学术论文 | 第119-121页 |
| 致谢 | 第121-122页 |
| 个人简历 | 第122页 |
