微纳米硬度测试仪测控系统的研制
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-15页 |
| ·课题背景及研究的意义 | 第8-9页 |
| ·微纳米硬度检测系统的国内外研究现状 | 第9-12页 |
| ·纳米压痕硬度检测的计算方法 | 第12-14页 |
| ·课题来源及主要研究内容 | 第14-15页 |
| 第2章 系统结构设计 | 第15-29页 |
| ·三维工作台设计 | 第15-18页 |
| ·XY 二维载物台的选用 | 第15-17页 |
| ·Z 向工作台的选用 | 第17页 |
| ·底面支承板 | 第17-18页 |
| ·Z 向工作台支承件 | 第18页 |
| ·减隔振装置的设计 | 第18-24页 |
| ·减隔振装置的结构设计 | 第19-20页 |
| ·空气弹簧减隔振装置动力学模型的建立 | 第20-23页 |
| ·减隔振装置空气弹簧的气路设计 | 第23-24页 |
| ·减隔振装置的性能测试与分析 | 第24-28页 |
| ·空气弹簧隔振平台固有频率的测试 | 第24-25页 |
| ·空气弹簧隔振平台隔振效果的测试 | 第25-28页 |
| ·实验结果分析 | 第28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 三维工作台运动控制系统的研究 | 第29-47页 |
| ·Z 向工作台控制 | 第29-33页 |
| ·硬件配置 | 第29-30页 |
| ·工作原理及实现方法 | 第30-33页 |
| ·XY 向工作台的控制 | 第33-44页 |
| ·硬件配置 | 第33-35页 |
| ·系统连线及工作原理 | 第35-37页 |
| ·PMAC 与计算机通讯 | 第37-39页 |
| ·系统PID 控制 | 第39-44页 |
| ·人机界面的开发 | 第44-45页 |
| ·三维工作台重复性定位实验 | 第45-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第4章 测头的微动控制与信号检测 | 第47-55页 |
| ·测头结构及工作原理 | 第47-48页 |
| ·测头微动控制及信号检测工作原理 | 第48-51页 |
| ·数据采集卡的选用 | 第49-50页 |
| ·硬件连接及控制检测的实现方法 | 第50-51页 |
| ·测头参数标定 | 第51-54页 |
| ·变形筋刚度的标定 | 第51-52页 |
| ·电容传感器的标定 | 第52页 |
| ·电流比例系数的标定 | 第52-53页 |
| ·载荷计算公式的确定 | 第53-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第5章 微纳米硬度测试仪检测系统的实验研究 | 第55-61页 |
| ·微纳米硬度测控系统的集成 | 第55页 |
| ·微纳米硬度检测系统应用实验 | 第55-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 结论 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 致谢 | 第66页 |
