| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-8页 |
| 第一章 文献综述 | 第8-26页 |
| ·引言 | 第8-9页 |
| ·CdO的性质 | 第9-11页 |
| ·CdO的晶体结构 | 第9-10页 |
| ·CdO的光电性质 | 第10-11页 |
| ·CdO的气敏性质 | 第11页 |
| ·CdO薄膜的应用 | 第11-14页 |
| ·CdO薄膜在太阳能电池领域的应用 | 第11-12页 |
| ·CdO薄膜在光电器件领域的应用 | 第12-13页 |
| ·CdO薄膜在气敏传感器领域的应用 | 第13-14页 |
| ·CdO薄膜的制备方法 | 第14-21页 |
| ·喷雾热解(Spray pyrolysis) | 第14-15页 |
| ·溶胶凝胶(Sol-gel) | 第15-16页 |
| ·分子束外延(MBE)技术 | 第16-17页 |
| ·化学气相沉积(CVD) | 第17-18页 |
| ·脉冲激光沉积(PLD) | 第18-19页 |
| ·磁控溅射(Magnetron sputtering) | 第19-21页 |
| ·近年来CdO薄膜的研究进展和研究方向 | 第21-26页 |
| ·CdO的掺杂 | 第21-24页 |
| ·掺Sn的CdO | 第21-22页 |
| ·掺F的CdO | 第22-23页 |
| ·掺In的CdO | 第23页 |
| ·掺Zn的CdO | 第23-24页 |
| ·柔性衬底上制备的CdO薄膜 | 第24-26页 |
| 第二章 磁控溅射成膜原理与工艺 | 第26-31页 |
| ·辉光放电及直流溅射的原理 | 第26-28页 |
| ·磁控溅射镀膜 | 第28-29页 |
| ·直流反应磁控溅射 | 第29-31页 |
| 第三章 直流磁控溅射制备CdO薄膜 | 第31-37页 |
| ·直流磁控溅射的溅射系统 | 第31-32页 |
| ·磁控溅射薄膜的制备 | 第32-33页 |
| ·靶的制备 | 第32页 |
| ·衬底准备与衬底的清洗 | 第32-33页 |
| ·CdO薄膜的制备过程 | 第33-34页 |
| ·热氧化法制备CdO薄膜 | 第33页 |
| ·反应溅射法制备CdO薄膜 | 第33-34页 |
| ·CdO薄膜的性能测试 | 第34-37页 |
| ·薄膜结构的测试 | 第34-36页 |
| ·薄膜光学性质的测试 | 第36页 |
| ·薄膜电学性能的测试 | 第36-37页 |
| 第四章 热氧化法制备CdO薄膜 | 第37-42页 |
| ·CdO薄膜的制备 | 第37页 |
| ·薄膜的结晶性能的表征与分析 | 第37-38页 |
| ·薄膜的电学性能的表征与分析 | 第38-39页 |
| ·薄膜的光学性能的表征与分析 | 第39-40页 |
| ·本章小结 | 第40-42页 |
| 第五章 反应溅射法制备CdO薄膜 | 第42-54页 |
| ·引言 | 第42页 |
| ·溅射速率的测定 | 第42-43页 |
| ·氧气流量对CdO薄膜性能的影响 | 第43-46页 |
| ·氧气流量对CdO薄膜的结晶性能的影响 | 第43页 |
| ·氧气流量对CdO电学性能的影响 | 第43-45页 |
| ·氧气流量对CdO光学性能的影响 | 第45-46页 |
| ·衬底温度对CdO薄膜性能的影响 | 第46-49页 |
| ·衬底温度对CdO薄膜的结构和结晶取向影响 | 第46-47页 |
| ·衬底温度对CdO薄膜的电学性能的影响 | 第47-48页 |
| ·衬底温度对CdO薄膜光学性能的影响 | 第48-49页 |
| ·热处理温度对CdO薄膜性能的影响 | 第49-52页 |
| ·热处理温度对CdO薄膜的结构和结晶取向影响 | 第50页 |
| ·热处理温度对CdO薄膜的电学性能的影响 | 第50-52页 |
| ·热处理温度对CdO薄膜的光学性能的影响 | 第52页 |
| ·本章小结 | 第52-54页 |
| 第六章 反应溅射法制备Al_xCd_(1-x)O薄膜 | 第54-65页 |
| ·引言 | 第54页 |
| ·试验过程 | 第54-56页 |
| ·靶材的制备与衬底的清洗和安装 | 第54-55页 |
| ·薄膜的制备过程 | 第55-56页 |
| ·Al_xCd_(1-x)O薄膜的成分测试 | 第56-57页 |
| ·Al含量变化对Al_xCd_(1-x)O薄膜性能的影响 | 第57-60页 |
| ·Al含量变化对Al_xCd_(1-x)O薄膜的结晶性能的影响 | 第57-58页 |
| ·Al含量变化对Al_xCd_(1-x)O薄膜的电学性能的影响 | 第58-59页 |
| ·Al含量变化对Al_xCd_(1-x)O薄膜的光学性能的影响 | 第59-60页 |
| ·热处理温度对Al_xCd_(1-x)O薄膜性能的影响 | 第60-64页 |
| ·热处理温度对Al_xCd_(1-x)O薄膜的结晶性能的影响 | 第61页 |
| ·热处理温度对Al_xCd_(1-x)O薄膜的电学性能的影响 | 第61-63页 |
| ·热处理温度对Al_xCd_(1-x)O薄膜的光学性能的影响 | 第63-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 第七章 结论 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-74页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75页 |
