磁控溅射制备(CrxAl1-x)N涂层及其本征、力学与高温氧化性能研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-28页 |
| ·课题背景 | 第10-11页 |
| ·表面改性技术及涂层制备 | 第11-16页 |
| ·表面改性工程发展概况 | 第11-14页 |
| ·涂层制备技术 | 第14-16页 |
| ·物理气相沉积(PVD)技术制备涂层 | 第16-21页 |
| ·物理气相沉积(PVD)技术分类概述 | 第16-17页 |
| ·磁控溅射技术原理及特点 | 第17-21页 |
| ·功能涂层与其表征技术 | 第21-26页 |
| ·功能涂层分类 | 第22-23页 |
| ·(Cr_xAl_(1-x))N涂层研究进展 | 第23-24页 |
| ·涂层表征技术 | 第24-26页 |
| ·试验主要工作内容 | 第26-28页 |
| 第二章 涂层设计与试验方法 | 第28-38页 |
| ·试验材料 | 第28页 |
| ·涂层设计及制备 | 第28-34页 |
| ·(Cr_xAl_(1-x))N涂层设计 | 第29-32页 |
| ·涂层制备各项参数 | 第32-34页 |
| ·涂层本征及其力学性能表征 | 第34-35页 |
| ·涂层本征性能表征 | 第34-35页 |
| ·涂层力学性能表征 | 第35页 |
| ·涂层抗高温氧化性能试验 | 第35-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第三章 涂层本征与力学性能 | 第38-62页 |
| ·涂层本征性能 | 第38-49页 |
| ·不同工艺涂层元素比 | 第38-40页 |
| ·涂层相结构分析 | 第40-41页 |
| ·涂层表面形貌分析 | 第41-47页 |
| ·涂层厚度 | 第47-49页 |
| ·涂层力学性能 | 第49-60页 |
| ·涂层硬度 | 第50-54页 |
| ·涂层结合力 | 第54-57页 |
| ·涂层摩擦磨损性能 | 第57-60页 |
| ·本章小结 | 第60-62页 |
| 第四章 涂层800℃抗高温氧化能力 | 第62-76页 |
| ·高温氧化理论简述 | 第62-66页 |
| ·1 高温氧化热力学基本定理 | 第63-64页 |
| ·金属氧化动力学规律 | 第64页 |
| ·氧化机理 | 第64-66页 |
| ·涂层高温氧化实验数据分析 | 第66-68页 |
| ·氧化膜相结构及其表面形貌分析 | 第68-74页 |
| ·本章小结 | 第74-76页 |
| 结论 | 第76-78页 |
| 参考文献 | 第78-85页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文和取得的科研成果 | 第85-86页 |
| 致谢 | 第86页 |
