| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-12页 |
| §1.1 简介 | 第8页 |
| §1.2 应用方面的进展 | 第8-9页 |
| §1.3 制作工艺的进展 | 第9-10页 |
| §1.4 设计理论的进展 | 第10-11页 |
| §1.5 本文主要工作 | 第11-12页 |
| 第二章 衍射光学的基础理论 | 第12-20页 |
| §2.1 衍射光学元件的理论基础 | 第12-17页 |
| §2.1.1 平面波的角谱 | 第12-15页 |
| §2.1.2 衍射元件的衍射效率 | 第15-17页 |
| §2.2 衍射光学元件的初级像差特性 | 第17-20页 |
| §2.2.1 光阑密接于衍射光学元件情况下的初级像差 | 第17-19页 |
| §2.2.2 光阑远离于衍射光学元件情况下的初级像差 | 第19-20页 |
| 第三章 衍射元件加工技术 | 第20-28页 |
| §3.1 引言 | 第20页 |
| §3.2 标准二元光学加工方法 | 第20-22页 |
| §3.3 灰度掩模法 | 第22-23页 |
| §3.4 衍射元件连续浮雕面形直写加工技术 | 第23-25页 |
| §3.4.1 激光束直写 | 第23-24页 |
| §3.4.2 电子束直写技术 | 第24-25页 |
| §3.5 金刚石单点车削技术 | 第25-28页 |
| 第四章 衍射光学元件金刚石单点车削技术的研究 | 第28-42页 |
| §4.1 引言 | 第28-29页 |
| §4.2 衍射光学元件面形的数值模拟 | 第29-32页 |
| §4.2.1 衍射元件的位相函数描述 | 第29页 |
| §4.2.2 衍射元件位相函数的实现 | 第29-30页 |
| §4.2.3 衍射元件面形的数值模拟 | 第30-32页 |
| §4.3 衍射元件微结构的遮挡效应 | 第32-34页 |
| §4.4 刀具形状对加工表面粗糙度的影响 | 第34-35页 |
| §4.4.1 采用球形刀尖刀具进行车削 | 第34-35页 |
| §4.4.2 采用圆弧形刀具进行车削 | 第35页 |
| §4.5 衍射元件表面散射与刀尖半径和进给量的关系 | 第35-41页 |
| §4.5.1 散射与刀尖半径和进给量间的关系 | 第35-37页 |
| §4.5.2 车削刀具刀尖半径和车削进给量的选择 | 第37-41页 |
| §4.5 小结 | 第41-42页 |
| 第五章 折衍混合目镜的设计例 | 第42-55页 |
| §5.1 引言 | 第42页 |
| §5.2 DOE的光焦度和色散性质 | 第42-44页 |
| §5.3 折衍混合系统消像差原理 | 第44页 |
| §5.4 Erfle折衍混合目镜的设计 | 第44-52页 |
| §5.4.1 Erfle传统目镜介绍 | 第45页 |
| §5.4.2 Erfle折衍混合目镜的设计 | 第45-52页 |
| §5.5 衍射面形加工分析 | 第52-54页 |
| §5.6 小结 | 第54-55页 |
| 第六章 结论 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-59页 |
