激光薄膜损伤特性研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-11页 |
| ·光学薄膜激光损伤研究的背景和意义 | 第8-9页 |
| ·光学薄膜激光损伤研究进展 | 第9页 |
| ·本文的主要工作 | 第9-11页 |
| 2 光学薄膜激光损伤机理 | 第11-16页 |
| ·本征吸收和热损伤 | 第11页 |
| ·自聚焦效应 | 第11-12页 |
| ·电子崩和多光子电离 | 第12-14页 |
| ·电子崩电离 | 第12-13页 |
| ·多光子电离 | 第13页 |
| ·电子崩电离与多光子电离的结 | 第13-14页 |
| ·自由等离子体吸收 | 第14页 |
| ·杂质缺陷、超声波和非线性吸收 | 第14-16页 |
| ·杂质缺陷 | 第14-15页 |
| ·超声波 | 第15页 |
| ·非线性吸收 | 第15-16页 |
| 3 光学薄膜激光损伤阈值测试方法 | 第16-29页 |
| ·概述 | 第16-17页 |
| ·激光损伤阈值测试规范 | 第17-21页 |
| ·损伤阈值测试的重要概念 | 第17-20页 |
| ·1-on-1 激光损伤测试的标准过程 | 第20-21页 |
| ·其它阈值测试法方法 | 第21页 |
| ·实验装置建立及参数确定 | 第21-26页 |
| ·阈值测试装置的建立 | 第21-22页 |
| ·主要激光参数 | 第22页 |
| ·光斑尺寸的测量 | 第22-26页 |
| ·损伤判定方法 | 第26-29页 |
| ·相衬显微镜观测法 | 第26页 |
| ·散射光检测法 | 第26-27页 |
| ·等离子体闪光法 | 第27页 |
| ·声光法 | 第27-28页 |
| ·光热法 | 第28页 |
| ·不同判定方法的比较 | 第28-29页 |
| 4 光学薄膜损伤的热—力学模型 | 第29-46页 |
| ·激光辐照下薄膜的热响应 | 第29-43页 |
| ·薄膜温度场的建立 | 第30-32页 |
| ·多层膜温度场理论的应用 | 第32-36页 |
| ·缺陷吸收模型 | 第36-39页 |
| ·缺陷吸收模型的应用 | 第39-43页 |
| ·激光辐照光学薄膜的力学响应 | 第43-46页 |
| 5 光学薄膜损伤阈值联合测试 | 第46-59页 |
| ·类金刚石薄膜的损伤试验 | 第47-55页 |
| ·薄膜的制备 | 第47-48页 |
| ·损伤测试试验 | 第48页 |
| ·损伤测试结果 | 第48-50页 |
| ·薄膜损伤原因分析 | 第50-51页 |
| ·退火对磁控溅射薄膜激光损伤的影响 | 第51页 |
| ·薄膜沉积工艺参数与其阈值之间的关系 | 第51-55页 |
| ·DLC 薄膜厚度与其阈值之间的关系 | 第55页 |
| ·介质薄膜的激光损伤测试 | 第55-58页 |
| ·薄膜的制备 | 第56页 |
| ·薄膜损伤测试 | 第56页 |
| ·测试结果 | 第56-57页 |
| ·介质膜的损伤形态 | 第57页 |
| ·测试结果分析 | 第57-58页 |
| ·小结 | 第58-59页 |
| 6 光学薄膜抗激光损伤能力的提高 | 第59-69页 |
| ·影响薄膜阈值的因素 | 第59-64页 |
| ·激光参数对薄膜损伤阈值的影响 | 第59-60页 |
| ·薄膜自身特性对损伤阈值的影响 | 第60-62页 |
| ·薄膜制备工艺对损伤阈值的影响 | 第62-64页 |
| ·如何提高薄膜抗激光损伤 | 第64-68页 |
| ·工艺改进 | 第64-66页 |
| ·膜系改进 | 第66-67页 |
| ·退火技术的应用 | 第67页 |
| ·薄膜激光预处理 | 第67-68页 |
| ·小结 | 第68-69页 |
| 结论与展望 | 第69-71页 |
| 结论 | 第69-70页 |
| 展望 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-74页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75-78页 |
