计量型原子力显微镜的研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-18页 |
| ·纳米技术 | 第8-11页 |
| ·纳米计量 | 第11-14页 |
| ·SPM 的发展 | 第14-16页 |
| ·本课题研究意义及主要研究内容 | 第16-18页 |
| 第二章 原子力显微镜的原理与构成 | 第18-48页 |
| ·原子力显微镜的基本组成 | 第18-19页 |
| ·近场力及其检测 | 第19-31页 |
| ·近场力 | 第19-24页 |
| ·原子力显微镜的测量模式 | 第24-27页 |
| ·近场力的检测 | 第27-31页 |
| ·扫描器 | 第31-38页 |
| ·压电陶瓷的工作机理及特性分析 | 第31-34页 |
| ·SPM 上常用扫描器的结构 | 第34-38页 |
| ·计量系统 | 第38-46页 |
| ·电容传感器 | 第38-42页 |
| ·激光干涉仪 | 第42-44页 |
| ·x 射线干涉仪 | 第44-46页 |
| ·本章小结 | 第46-48页 |
| 第三章 计量型原子力显微镜 | 第48-74页 |
| ·计量型原子力显微镜的基本构成 | 第48-49页 |
| ·微悬臂位置检测器 | 第49-52页 |
| ·接近系统 | 第52-53页 |
| ·扫描器 | 第53-61页 |
| ·三维整体柔性位移台 | 第53-59页 |
| ·压电陶瓷及其驱动器 | 第59-61页 |
| ·三维激光干涉仪与阿贝误差的消除 | 第61-65页 |
| ·控制系统与测量过程控制 | 第65-71页 |
| ·控制系统 | 第65-67页 |
| ·测量过程控制 | 第67-71页 |
| ·本章小结 | 第71-74页 |
| 第四章 计量型原子力显微镜的误差分析及校准 | 第74-108页 |
| ·计量型原子力显微镜的误差来源 | 第74页 |
| ·环境条件对原子力显微镜测量的影响 | 第74-85页 |
| ·仪器的温度漂移 | 第74-79页 |
| ·PTF 对激光干涉仪的影响 | 第79页 |
| ·空气湿度对探针的影响 | 第79-80页 |
| ·振动对测量的影响 | 第80-85页 |
| ·针尖几何形状产生的测量误差 | 第85-91页 |
| ·位置误差的校准与补偿 | 第91-105页 |
| ·微悬臂位移的校准 | 第105-106页 |
| ·本章小结 | 第106-108页 |
| 第五章 纳米几何结构标准、测量与不确定度评定 | 第108-130页 |
| ·标准样板的研制与测量方法的实验研究 | 第108-113页 |
| ·纳米标准样板国际比对 | 第113-127页 |
| ·台阶高度国际比对 | 第114-120页 |
| ·两维光栅国际比对 | 第120-127页 |
| ·建立国家纳米量值溯源体系 | 第127-129页 |
| ·本章小结 | 第129-130页 |
| 第六章 结论与展望 | 第130-134页 |
| 参考文献 | 第134-144页 |
| 博士期间发表论文和参加科研情况的说明 | 第144-147页 |
| 致谢 | 第147页 |
