飞秒激光在微加工中的应用研究

摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-8页
1 绪论	第8-15页
·飞秒激光的发展	第8页
·激光加工现状	第8-10页
·飞秒激光微加工进展	第10-14页
·本论文的主要工作	第14-15页
2 飞秒激光在透明材料上制备光栅的研究	第15-23页
·引言	第15页
·激光与透明材料相互作用机理	第15-18页
·激光参数、加工速度和刻线宽度的关系	第18-19页
·飞秒激光在透明材料上制备光栅实验	第19-22页
·本章小结	第22-23页
3 飞秒激光烧蚀金属的实验研究	第23-36页
·引言	第23页
·激光与金属相互作用的双温模型	第23-27页
·飞秒激光金属烧蚀率	第27-29页
·激光能量密度对加工孔径的影响	第29-31页
·飞秒激光在金属薄膜上刻线	第31-33页
·飞秒激光在金属薄膜上打孔	第33-34页
·本章小结	第34-36页
4 飞秒激光加工烈性材料代用品的实验研究	第36-41页
·引言	第36页
·飞秒激光在烈性材料代用品上刻线与切割	第36-39页
·飞秒激光在烈性材料代用品上打孔	第39-40页
·本章小结	第40-41页
5 总结	第41-42页
致谢	第42-43页
参考文献	第43-48页
附录1 攻读学位期间发表论文目录	第48页