| 第一章 绪论 | 第1-27页 |
| ·引言 | 第11-12页 |
| ·电液伺服阀的发展 | 第12-15页 |
| ·电液伺服阀的工作原理 | 第12-13页 |
| ·电液伺服阀的产生与发展 | 第13-14页 |
| ·电液伺服阀提高频宽的研究 | 第14-15页 |
| ·压电型电液伺服阀研究与发展 | 第15-27页 |
| ·压电驱动器简介 | 第15-17页 |
| ·压电驱动器在流体控制中的应用与发展 | 第17-23页 |
| ·压电型直动式电液伺服阀的特点 | 第23-25页 |
| ·选题的意义本文研究内容 | 第25-27页 |
| 第二章 压电驱动基础理论 | 第27-39页 |
| ·压电材料与压电效应 | 第27-30页 |
| ·压电材料发展简介 | 第27-28页 |
| ·压电效应 | 第28-30页 |
| ·压电振子 | 第30-32页 |
| ·压电振子的振动模式 | 第30-31页 |
| ·压电振子的谐振特性 | 第31页 |
| ·压电振子等效电路 | 第31-32页 |
| ·压电材料的性能参数 | 第32-36页 |
| ·机电耦合系数 | 第33页 |
| ·机械品质因数 | 第33-34页 |
| ·压电常数 | 第34-36页 |
| ·压电方程 | 第36-38页 |
| ·第一类压电方程 | 第36-37页 |
| ·其它类型压电方程 | 第37-38页 |
| ·本章小节 | 第38-39页 |
| 第三章 积层式压电驱动器的建模分析与实验研究 | 第39-65页 |
| ·积层式压电驱动器制备过程及工作原理 | 第39-41页 |
| ·积层式压电驱动器的电机械模型 | 第41-50页 |
| ·压电陶瓷的能量方程 | 第41页 |
| ·压电陶瓷薄片的总能量 | 第41-43页 |
| ·积层式压电驱动器建模 | 第43-45页 |
| ·积层式压电驱动器近似模型 | 第45-48页 |
| ·积层式压电驱动器简化模型 | 第48-50页 |
| ·积层式压电驱动器的有限元建模 | 第50-55页 |
| ·积层式压电驱动器实体模型的建立 | 第50-52页 |
| ·积层式压电驱动器静态分析 | 第52-53页 |
| ·积层式压电驱动器动态特性分析 | 第53-55页 |
| ·积层式压电驱动器的实验研究 | 第55-64页 |
| ·微位移精密测控系统设计 | 第55-57页 |
| ·积层式压电驱动器静态特性测试 | 第57-61页 |
| ·积层式压电驱动器动态特性测试 | 第61-64页 |
| ·本章小节 | 第64-65页 |
| 第四章 柔性铰链微位移放大机构的理论建模 | 第65-89页 |
| ·柔性铰链放大机构概述 | 第65-71页 |
| ·柔性铰链的类型及特点 | 第65-67页 |
| ·微位移放大机构的类型及特点 | 第67-71页 |
| ·单轴柔性铰链的设计分析 | 第71-76页 |
| ·单轴柔性铰链的力学模型 | 第71-74页 |
| ·单轴柔性铰链的有限元分析 | 第74-76页 |
| ·桥式微位移放大机构理论分析与有限元建模 | 第76-85页 |
| ·桥式微位移放大机构的理论分析 | 第76-82页 |
| ·桥式微位移放大机构有限元建模 | 第82-85页 |
| ·杠杆式微位移放大机构理论解析与有限元建模 | 第85-88页 |
| ·杠杆式微位移放大机构的理论放大倍数 | 第85-86页 |
| ·杠杆式微位移放大机构的输入刚度与输出刚度 | 第86-88页 |
| ·本章小结 | 第88-89页 |
| 第五章 阀芯运动系统建模分析及结构设计 | 第89-113页 |
| ·桥式阀芯运动机构 | 第89-103页 |
| ·桥式阀芯运动机构的工作原理 | 第89-90页 |
| ·桥式阀芯运动机构结构参数的确定 | 第90-95页 |
| ·桥式阀芯运动机构建模分析 | 第95-103页 |
| ·杠杆式阀芯运动机构 | 第103-111页 |
| ·杠杆式阀芯运动机构的工作原理 | 第103页 |
| ·杠杆式阀芯运动机构结构参数的确定 | 第103-106页 |
| ·杠杆式阀芯运动机构建模分析 | 第106-111页 |
| ·本章小结 | 第111-113页 |
| 第六章 直动式压电伺服阀样机试制与实验研究 | 第113-131页 |
| ·桥式放大直动式压电伺服阀 | 第113-119页 |
| ·桥式放大直动式压电伺服阀样机试制 | 第113-114页 |
| ·桥式放大直动式压电伺服阀阀芯位移特性测试 | 第114-116页 |
| ·桥式放大直动式压电伺服阀阀芯流量特性测试 | 第116-117页 |
| ·桥式放大直动式压电伺服阀阻抗特性测试 | 第117页 |
| ·桥式放大直动式压电伺服阀频率响应特性测试 | 第117-119页 |
| ·杠杆放大直动式压电伺服阀 | 第119-130页 |
| ·杠杆放大直动式压电伺服阀样机试制 | 第119-122页 |
| ·机构及检测一体化装置 | 第122页 |
| ·杠杆放大直动式压电伺服阀阀芯位移特性测试 | 第122-124页 |
| ·杠杆放大直动式压电伺服阀阀芯位移分辨率测试 | 第124页 |
| ·杠杆放大直动式压电伺服阀最大控制流量测试 | 第124-125页 |
| ·功率放大电源驱动能力对积层式压电驱动器动态输出特性的影响 | 第125-126页 |
| ·弹性回复板刚度对杠杆式压电伺服阀频率响应特性的影响 | 第126-128页 |
| ·预紧力大小对杠杆放大直动式压电伺服阀频率响应特性的影响 | 第128-129页 |
| ·杠杆放大直动式压电伺服阀的阶跃响应特性 | 第129-130页 |
| ·本章小结 | 第130-131页 |
| 第七章 直动式压电伺服阀控制器设计及控制算法 | 第131-141页 |
| ·直动式压电伺服阀控制器结构组成 | 第131-134页 |
| ·直动式压电伺服阀控制器的功能与特点 | 第131-132页 |
| ·信号处理单元 | 第132页 |
| ·位移检测单元 | 第132-133页 |
| ·功率放大单元 | 第133-134页 |
| ·控制算法 | 第134-137页 |
| ·控制算法的选择 | 第134-135页 |
| ·直动式压电伺服阀的动态Preisach 模型 | 第135-137页 |
| ·基于动态Preisach 模型前馈的PID 复合控制 | 第137页 |
| ·实验测试 | 第137-140页 |
| ·开环控制 | 第137-138页 |
| ·基于动态Preisach 模型前馈控制 | 第138页 |
| ·PID 反馈控制 | 第138-139页 |
| ·基于动态Preisach 模型前馈的PID 复合控制 | 第139页 |
| ·闭环位移特性测试 | 第139-140页 |
| ·本章小结 | 第140-141页 |
| 第八章 结论 | 第141-143页 |
| 参考文献 | 第143-149页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第149-150页 |
| 攻读博士学位期间参加的科研项目与申请专利情况 | 第150-151页 |
| 摘要 | 第151-155页 |
| ABSTRACT | 第155-160页 |
| 致谢 | 第160页 |
