多晶硅薄膜热扩散率在线测试结构的设计
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-11页 |
| ·MEMS 的概念和发展状况 | 第8页 |
| ·MEMS 研究应用分类 | 第8-9页 |
| ·表面加工多晶硅薄膜热扩散率测试的重要性 | 第9-10页 |
| ·本论文主要工作及纲要 | 第10-11页 |
| 第二章 薄膜热扩散率测试结构的进展 | 第11-22页 |
| ·薄膜热扩散率理论基础 | 第11-12页 |
| ·薄膜热扩散率测试结构和方法 | 第12-21页 |
| ·薄膜横向热扩散率的测试结构 | 第12-17页 |
| ·CMOS 工艺下的薄膜悬臂梁结构 | 第13-15页 |
| ·CMOS 工艺下的薄膜桥式结构 | 第15-17页 |
| ·薄膜纵向热扩散率的测试结构 | 第17-20页 |
| ·基于傅立叶方法测量薄膜纵向热扩散率 | 第17-18页 |
| ·基于拉普拉斯变换测量薄膜的热扩散率 | 第18-19页 |
| ·基于相位敏感技术的测试方法 | 第19-20页 |
| ·其他测试方法 | 第20-21页 |
| ·测试结构的综合比较 | 第21页 |
| ·本章小节 | 第21-22页 |
| 第三章 在线测试结构及其模型的建立 | 第22-34页 |
| ·热传递的基本方式 | 第22-24页 |
| ·热传导 | 第22-23页 |
| ·热对流 | 第23页 |
| ·热辐射 | 第23-24页 |
| ·薄膜热扩散率在线测试结构的工作原理 | 第24-28页 |
| ·测试结构设计与测试方法 | 第24-25页 |
| ·热电分析与热扩散率模型 | 第25-28页 |
| ·有限元模拟分析与模型验证 | 第28-33页 |
| ·有限元模拟法理论 | 第28-30页 |
| ·有限元单元法 | 第28-29页 |
| ·ANSYS~(TM)软件 | 第29-30页 |
| ·ANSYS 单元选取和单位制 | 第30页 |
| ·解析公式的验证 | 第30-33页 |
| ·ANSYS 模拟验证 | 第30-33页 |
| ·实验数据的验证 | 第33页 |
| ·本章小节 | 第33-34页 |
| 第四章 在线测试结构的工艺制作、实验结果和验证 | 第34-49页 |
| ·工艺步骤与版图设计 | 第34-38页 |
| ·测试结构的加工制作 | 第34-36页 |
| ·版图设计 | 第36-38页 |
| ·多晶硅薄膜热扩散率的测试结果 | 第38-40页 |
| ·误差分析 | 第40-42页 |
| ·利用Intellisuite 软件进行闭环验证 | 第42-44页 |
| ·Intellisuite 软件简介 | 第42页 |
| ·闭环验证结果 | 第42-44页 |
| ·红外热像仪的实验验证 | 第44-47页 |
| ·实验验证的意义和验证思路 | 第44页 |
| ·红外热像仪测试的结果 | 第44-47页 |
| ·理论、红外热像仪实验、软件模拟数据的比较 | 第47-48页 |
| ·本章小节 | 第48-49页 |
| 第五章 在线测试结构参数提取的数值算法理论推导 | 第49-54页 |
| ·有限差分法的基础理论 | 第49-50页 |
| ·数值方法推导薄膜热扩散率的理论模型 | 第50-52页 |
| ·利用蒙特卡洛法计算非线性方程组的根 | 第52-53页 |
| ·软件模拟 | 第53页 |
| ·本章小节 | 第53-54页 |
| 第六章 结束语 | 第54-56页 |
| ·总结 | 第54-55页 |
| ·对后续工作的建议 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-59页 |
| 图表索引 | 第59-61页 |
| 附录A 线性拟合MATLAB计算程序 | 第61-62页 |
| 附录B 非线性方程组求解的C++程序 | 第62-66页 |
| 硕士期间发表论文目录 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67页 |
