| 第1章 绪论 | 第1-25页 |
| ·氧等离子体及其应用 | 第10-12页 |
| ·等离子体源研究现状 | 第12-20页 |
| ·辉光放电等离子体源 | 第12-14页 |
| ·电晕放电等离子体源 | 第14-15页 |
| ·射频放电等离子体源 | 第15-17页 |
| ·微波放电等离子体源 | 第17-19页 |
| ·介质阻挡放电等离子体源 | 第19-20页 |
| ·构建大尺度氧等离子体源需解决的关键问题 | 第20-22页 |
| ·大尺度 DBD氧等离子体源设计构想 | 第22-23页 |
| ·本文主要研究内容 | 第23-25页 |
| 第2章 大尺度氧等离子体源构建的理论基础 | 第25-38页 |
| ·引言 | 第25页 |
| ·高气压下气体放电的流柱理论 | 第25-29页 |
| ·流柱的形成与传播 | 第25-28页 |
| ·流柱理论与汤生理论的比较 | 第28-29页 |
| ·流柱中的物理化学过程 | 第29-33页 |
| ·流柱中的能量传递 | 第29页 |
| ·流柱中的辐射过程 | 第29-31页 |
| ·流柱中的物理化学过程 | 第31-33页 |
| ·微流柱过程与多重流柱的自组织 | 第33-36页 |
| ·单一微流柱过程 | 第33-34页 |
| ·多重微流柱的自组织 | 第34-36页 |
| ·小结 | 第36-38页 |
| 第3章 构建大尺度 DBD氧等离子体源用电介质材料 | 第38-46页 |
| ·引言 | 第38页 |
| ·电介质材料的性能要求 | 第38-40页 |
| ·电介质层的镇流效应 | 第38页 |
| ·电介质材料的性能要求 | 第38-39页 |
| ·电介质材料的选择 | 第39-40页 |
| ·搪瓷电介质层的制备与电性能测试 | 第40-45页 |
| ·搪瓷电介质层的制备 | 第40-43页 |
| ·搪瓷电介质层电性能测试方法 | 第43-44页 |
| ·涂搪工艺对电性能的影响 | 第44-45页 |
| ·小结 | 第45-46页 |
| 第4章 构建大尺度 DBD氧等离子体源的谐振问题 | 第46-54页 |
| ·引言 | 第46页 |
| ·DBD氧等离子体源等效电路 | 第46-47页 |
| ·DBD氧等离子体源谐振实验与结果 | 第47-52页 |
| ·谐振参量的确定 | 第48-50页 |
| ·主要参量的变化 | 第50-52页 |
| ·小结 | 第52-54页 |
| 第5章 DBD氧等离子体源中的动力学问题 | 第54-70页 |
| ·引言 | 第54页 |
| ·电子碰撞气体反应 | 第54-56页 |
| ·微观动力学模型 | 第56-59页 |
| ·模拟结果与讨论 | 第59-64页 |
| ·电子浓度对臭氧产率的影响 | 第59-61页 |
| ·电子平均能量对臭氧产率的影响 | 第61-62页 |
| ·本底气体温度对臭氧产率的影响 | 第62-64页 |
| ·氧等离子体臭氧产生初步实验 | 第64-68页 |
| ·输入电压对臭氧产率的影响 | 第64-65页 |
| ·激励频率对臭氧产率的影响 | 第65-66页 |
| ·冷却水温度对臭氧产率的影响 | 第66-67页 |
| ·氧气流量对臭氧产率的影响 | 第67-68页 |
| ·动力学研究对大尺度等离子体源构建的几点启示 | 第68-69页 |
| ·小结 | 第69-70页 |
| 第6章 结论与展望 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-74页 |
| 附录 等离子体动力学方程组的解法 | 第74-77页 |
| 攻读学位期间公开发表论文 | 第77-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
| 研究生履历 | 第79页 |