| 摘 要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-26页 |
| ·引言 | 第9-13页 |
| ·材料的介电、压电、热释电和铁电性质 | 第9-10页 |
| ·热释电材料相关概念 | 第10-11页 |
| ·热释电材料的发展简史及主要的热释电材料 | 第11-13页 |
| ·热释电材料的分类 | 第13-14页 |
| ·单晶材料 | 第13页 |
| ·高分子有机聚合物及复合材料 | 第13页 |
| ·金属氧化物陶瓷及薄膜材料 | 第13-14页 |
| ·热释电薄膜的制备方法 | 第14-18页 |
| ·溶胶－凝胶法 | 第15页 |
| ·脉冲激光沉积 | 第15-16页 |
| ·金属有机物化学气相沉积 | 第16页 |
| ·金属有机物分解法 | 第16页 |
| ·溅射法 | 第16-18页 |
| ·铅基钙钛矿结构热释电薄膜的研究进展 | 第18-20页 |
| ·热释电薄膜的应用 | 第20-21页 |
| ·相关理论与技术路线 | 第21-26页 |
| 第二章 薄膜制备与测试 | 第26-35页 |
| ·衬底与电极材料的选择以及电极的制备 | 第26-28页 |
| ·衬底与电极材料的选择 | 第26-27页 |
| ·电极的制备 | 第27-28页 |
| ·PLT 薄膜的制备 | 第28-29页 |
| ·薄膜的退火 | 第29-30页 |
| ·分析与测试 | 第30-35页 |
| ·薄膜的形貌分析 | 第30-31页 |
| ·薄膜的结构分析 | 第31-32页 |
| ·性能测试 | 第32-35页 |
| 第三章 PLT 薄膜的形貌特征与结构特征 | 第35-47页 |
| ·PLT 薄膜的形貌特征 | 第35-41页 |
| ·基片温度对 PLT 薄膜表面形貌的影响 | 第35-37页 |
| ·不同溅射方式对 PLT 薄膜表面形貌的影响 | 第37-38页 |
| ·快速退火保温时间对连续溅射的 PLT 薄膜的形貌影响 | 第38-39页 |
| ·不同退火温度对 PLT 薄膜表面形貌的影响 | 第39-40页 |
| ·不同循环溅射次数对 PLT 薄膜表面形貌的影响 | 第40-41页 |
| ·PLT 薄膜的结构特征 | 第41-47页 |
| ·基片温度对 PLT 薄膜结构的影响 | 第41-42页 |
| ·传统退火工艺（CFA）对 PLT 薄膜结构的影响 | 第42-43页 |
| ·快速退火保温时间对 PLT 薄膜结构的影响 | 第43-44页 |
| ·不同退火温度对 PLT 薄膜结构的影响 | 第44-45页 |
| ·不同循环溅射次数对 PLT 薄膜结构的影响 | 第45-47页 |
| 第四章 PLT 薄膜的性能 | 第47-59页 |
| ·基片温度对PLT 薄膜性能的影响 | 第47-49页 |
| ·传统退火温度对PLT 薄膜性能的影响 | 第49-51页 |
| ·快速退火保温时间对PLT 薄膜性能的影响 | 第51-52页 |
| ·不同退火温度对PLT 薄膜性能的影响 | 第52-54页 |
| ·不同循环溅射次数对PLT 薄膜性能的影响 | 第54-57页 |
| ·PLT 薄膜的热释电性能 | 第57-59页 |
| 第五章 结论 | 第59-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-68页 |
| 读硕期间的研究成果 | 第68页 |