| 第一章 绪论 | 第1-21页 |
| 1-1 太阳能电池 | 第10-15页 |
| 1-1-1 太阳能电池的重大战略意义 | 第10-11页 |
| 1-1-2 太阳能电池的工作原理简介 | 第11-12页 |
| 1-1-3 薄膜太阳能电池的发展 | 第12-15页 |
| 1-2 透明导电氧化物薄膜 | 第15-16页 |
| 1-2-1 透明导电氧化物薄膜的概述 | 第15页 |
| 1-2-2 透明导电氧化物薄膜的种类及特点 | 第15-16页 |
| 1-3 氧化锌铝薄膜 | 第16-18页 |
| 1-3-1 氧化锌铝薄膜(ZAO)概述 | 第16-17页 |
| 1-3-2 ZAO的特性及掺杂原理 | 第17-18页 |
| 1-4 绒面氧化锌薄膜 | 第18页 |
| 1-5 溅射原理 | 第18-19页 |
| 1-6 问题的提出 | 第19-20页 |
| 1-7 主要研究内容 | 第20-21页 |
| 第二章 实验设备与测试仪器设备简介 | 第21-26页 |
| 2-1 制备工艺以及实验设备 | 第21-22页 |
| 2-1-1 ZAO薄膜制备工艺 | 第21页 |
| 2-1-2 薄膜太阳能电池的制备方法和设备 | 第21-22页 |
| 2-2 实验靶材与基体准备 | 第22-23页 |
| 2-3 薄膜性能测试设备仪器 | 第23-26页 |
| 2-3-1 椭偏测试仪 | 第23-24页 |
| 2-3-2 用分光光度计测试薄膜透过率和反射率 | 第24页 |
| 2-3-3 用霍尔测试仪测试霍尔迁移率和载流子浓度和方块电阻 | 第24页 |
| 2-3-4 用x-ray衍射仪(XRD)测试材料的晶化率和结晶取向 | 第24-25页 |
| 2-3-5 扫描电子显微镜 | 第25-26页 |
| 第三章 中频脉冲磁控溅射制备平面ZnO透明导电薄膜 | 第26-40页 |
| 3-1 制备工艺 | 第26-28页 |
| 3-1-1 磁控溅射 | 第26-27页 |
| 3-1-2 中频脉冲磁控溅射 | 第27-28页 |
| 3-2 中频电源脉冲参数对靶电压的影响 | 第28-30页 |
| 3-2-1 反向脉冲时间对靶电压的影响 | 第28页 |
| 3-2-2 反向脉冲电压对靶电压的影响 | 第28-29页 |
| 3-2-3 脉冲频率对靶电压的影响 | 第29页 |
| 3-2-4 溅射功率对靶电压的影响 | 第29页 |
| 3-2-5 靶距对靶电压的影响 | 第29-30页 |
| 3-3 沉积工艺对ZAO薄膜性能的影响 | 第30-39页 |
| 3-3-1 氧分压对ZAO薄膜性能的影响 | 第30-33页 |
| 3-3-2 工作气压对ZAO薄膜性能的影响 | 第33-39页 |
| 3-4 本章小结 | 第39-40页 |
| 第四章 绒面ZAO薄膜的制备 | 第40-47页 |
| 4-1 溅射后腐蚀的方法制备绒面ZAO薄膜 | 第40-44页 |
| 4-1-1 工作压力对薄膜绒面结构的影响 | 第41页 |
| 4-1-2 衬底温度对薄膜绒面结构的影响 | 第41-42页 |
| 4-1-3 溅射功率对薄膜绒面结构的影响 | 第42-44页 |
| 4-2 大功率高温高压直接溅射制备绒面ZAO薄膜的方法 | 第44-46页 |
| 4-2-1 工作气体压力对绒面的影响 | 第44-45页 |
| 4-2-2 工作气体压力对绒面氧化锌薄膜电阻率的影响 | 第45-46页 |
| 4-3 本章小结 | 第46-47页 |
| 第五章 ZAO薄膜在太阳能电池上的应用 | 第47-51页 |
| 5-1 绒面ZAO薄膜在非晶硅薄膜太阳能电池前电极的应用 | 第47-48页 |
| 5-2 ZAO薄膜在非晶硅薄膜太阳能电池背反射电极的应用 | 第48-50页 |
| 5-2-1 增反原理 | 第48-49页 |
| 5-2-2 ZAO背反射电极在薄膜太阳能电池上的应用 | 第49-50页 |
| 5-3 本章小结 | 第50-51页 |
| 第六章 结论 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 攻读学位期间所取得的相关科研成果 | 第56页 |
