| 摘 要 | 第1-3页 |
| ABSTRACT | 第3-5页 |
| 第一章 前言 | 第5-17页 |
| ·类金刚石膜 | 第5-6页 |
| ·类金刚石膜的成长机制 | 第6页 |
| ·类金刚石膜的应用及问题 | 第6-9页 |
| ·常用制备方法 | 第9-12页 |
| ·金属上制备DLC膜的研究进展 | 第12-13页 |
| ·研究目的 | 第13-14页 |
| 参考文献 | 第14-17页 |
| 第二章 实验设备及材料制备 | 第17-34页 |
| ·射频等离子体化学气相沉积(RF-PECVD)原理及特点 | 第17-23页 |
| ·实验装置 | 第23-25页 |
| ·实验材料 | 第25页 |
| ·DLC膜的制备工艺 | 第25-29页 |
| ·工艺参数 | 第29-33页 |
| 参考文献 | 第33-34页 |
| 第三章 实验结果及分析 | 第34-52页 |
| ·结构分析 | 第34-39页 |
| ·形貌分析 | 第39-44页 |
| ·附着牢度测试分析 | 第44-46页 |
| ·摩擦系数分析 | 第46-48页 |
| ·纳米硬度分析 | 第48-51页 |
| 参考文献 | 第51-52页 |
| 第四章 结论 | 第52-53页 |
| 硕士期间发表的论文 | 第53-54页 |
| 致 谢 | 第54-55页 |