三维超精密运动平台性能分析及误差补偿的研究
| 摘要 | 第1-3页 |
| Abstract | 第3-6页 |
| 第1章 绪论 | 第6-18页 |
| ·课题背景 | 第6-7页 |
| ·国内外研究现状 | 第7-16页 |
| ·三维微细加工技术 | 第7-9页 |
| ·超精密运动平台的概念与意义 | 第9-12页 |
| ·超精密运动平台的发展与现状 | 第12-16页 |
| ·研究目标与内容 | 第16-17页 |
| ·本章小结 | 第17-18页 |
| 第2章 三维超精密运动平台方案设计与结构设计 | 第18-34页 |
| ·极微细电火花加工对运动平台的要求 | 第18-19页 |
| ·运动平台系统方案设计 | 第19-28页 |
| ·极微细电火花加工系统的总体结构 | 第19-21页 |
| ·超精密运动平台的方案设计 | 第21-23页 |
| ·运动平台驱动方式 | 第23-25页 |
| ·运动平台位移检测反馈方式 | 第25-26页 |
| ·运动平台控制方式 | 第26-28页 |
| ·运动平台系统机架结构设计 | 第28-30页 |
| ·运动平台系统隔振系统设计 | 第30-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第3章 三维超精密运动平台性能分析与实验研究 | 第34-50页 |
| ·三维超精密运动平台运动学性能分析 | 第34-35页 |
| ·三维超精密运动平台位置精度分析 | 第35-36页 |
| ·超精密运动平台机架刚度分析 | 第36-38页 |
| ·机架及隔振台模态分析 | 第38-43页 |
| ·有限元软件模拟分析 | 第38-40页 |
| ·试验模态分析 | 第40-41页 |
| ·试验法与有限元法模态分析结果比较 | 第41-43页 |
| ·超精密运动平台隔振系统性能分析 | 第43-48页 |
| ·实验总结 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第4章 三维超精密运动平台误差分析与识别 | 第50-65页 |
| ·三维超精密运动平台误差模型 | 第50-61页 |
| ·误差模型建立方法 | 第50-51页 |
| ·三维超精密运动平台误差模型的特点和模型建立方法 | 第51页 |
| ·误差矩阵法建立误差模型 | 第51-61页 |
| ·三维超精密运动平台误差辨识 | 第61-63页 |
| ·三维超精密运动平台误差辨识方法 | 第61页 |
| ·三维超精密运动平台误差辨识方案设计 | 第61-63页 |
| ·本章小结 | 第63-65页 |
| 第5章 三维超精密运动平台误差补偿方案研究 | 第65-70页 |
| ·三维超精密运动平台主要误差因素分析 | 第65-66页 |
| ·三维超精密运动平台误差补偿方案设计 | 第66-69页 |
| ·误差补偿方法 | 第66-67页 |
| ·超精密运动平台误差初步补偿方案 | 第67-69页 |
| ·三维超精密运动平台误差综合动态实时补偿方案 | 第69页 |
| ·本章小结 | 第69-70页 |
| 第6章 论文工作总结与展望 | 第70-72页 |
| ·论文主要工作和结论 | 第70页 |
| ·展望 | 第70-72页 |
| 参考文献 | 第72-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第77页 |
