| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-17页 |
| ·研究背景 | 第10-12页 |
| ·激光在加工领域中的应用 | 第10-11页 |
| ·激光在集成电路及 MEMS 技术中的应用 | 第11-12页 |
| ·飞秒脉冲激光 | 第12-13页 |
| ·激光的清洗和脱附技术 | 第13-15页 |
| ·激光清洗技术 | 第13-14页 |
| ·脱附 MEMS 中杂质的重要性 | 第14-15页 |
| ·飞秒脉冲激光脱附的研究现状 | 第15-16页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第16-17页 |
| 第二章 短脉冲激光的加热机理 | 第17-32页 |
| ·微观传热的热载子 | 第17页 |
| ·短脉冲激光的电离机理 | 第17-18页 |
| ·飞秒脉冲激光的非平衡态加热 | 第18-20页 |
| ·纳秒脉冲激光的平衡态加热 | 第20页 |
| ·短脉冲激光加热模型的数值求解 | 第20-31页 |
| ·偏微分方程及有限差分方法 | 第20-22页 |
| ·非线性抛物线型方程及有限差分方法 | 第22-23页 |
| ·非平衡态加热的两步法模型的数值求解方法 | 第23-28页 |
| ·平衡态加热的一步法模型的数值求解方法 | 第28-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 短脉冲激光的脱附机理和随机过程模型 | 第32-40页 |
| ·吸附分子的能级 | 第32-33页 |
| ·飞秒脉冲激光的脱附机理 | 第33-34页 |
| ·脱附的随机过程模型 | 第34-35页 |
| ·随机过程和 Brown 运动 | 第34-35页 |
| ·飞秒脉冲激光脱附的随机过程模型 | 第35页 |
| ·随机过程模型的数学描述 | 第35-37页 |
| ·主方程及其近似处理 | 第35-36页 |
| ·Fokker-Planck 方程及脱附概率 | 第36-37页 |
| ·纳秒脉冲激光的脱附 | 第37-38页 |
| ·纳秒脉冲激光的脱附机理 | 第37页 |
| ·随机过程模型和脱附概率 | 第37-38页 |
| ·短脉冲激光脱附的随机过程模型 | 第38-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 第四章 飞秒脉冲激光与纳秒脉冲激光脱附的比较 | 第40-52页 |
| ·脱附概率的数值求解方法 | 第40-47页 |
| ·飞秒脉冲激光脱附概率的数值求解方法 | 第40-44页 |
| ·纳秒脉冲激光脱附概率的数值求解方法 | 第44-47页 |
| ·飞秒脉冲与纳秒脉冲激光对 CO 脱附的数值模拟 | 第47-50页 |
| ·飞秒脉冲与纳秒脉冲激光对 CO 脱附的模拟结论 | 第50-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第五章 飞秒脉冲激光参数对脱附过程的影响 | 第52-61页 |
| ·单脉冲飞秒激光对 CO 脱附的数值模拟 | 第52-55页 |
| ·单脉冲飞秒激光对 CO 脱附的模拟结论 | 第55-56页 |
| ·双脉冲飞秒激光在脱附过程中的应用 | 第56-60页 |
| ·双脉冲飞秒激光的脱附机理 | 第56-57页 |
| ·双脉冲飞秒激光对 CO 脱附的数值模拟 | 第57-60页 |
| ·双脉冲飞秒激光对 CO 脱附的模拟结论 | 第60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 第六章 飞秒脉冲激光在 MEMS 中加工的初步探讨 | 第61-67页 |
| ·飞秒脉冲激光的非平衡态加热 | 第61-62页 |
| ·非平衡态加热的晶格温度场分布 | 第62-64页 |
| ·飞秒脉冲激光的最大光能能量密度对熔化深度的影响 | 第64-66页 |
| ·熔化深度的定义 | 第64页 |
| ·熔化深度的数值模拟 | 第64-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 第七章 总结与展望 | 第67-69页 |
| ·总结 | 第67-68页 |
| ·展望 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-73页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第73页 |