| 中文摘要 | 第1-3页 |
| 英文摘要 | 第3-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-24页 |
| 1．1 研究历史和背景 | 第10-12页 |
| 1．2 溶胶—凝胶法 | 第12-15页 |
| 1．2．1 机理分类 | 第13页 |
| 1．2．2 溶胶—凝胶法工艺过程 | 第13页 |
| 1．2．3 溶胶—凝胶法的优缺点 | 第13-14页 |
| 1．2．4 溶胶—凝胶法制备材料的适用范围 | 第14-15页 |
| 1．3 TiO_2系氧化物湿敏材料的研究 | 第15页 |
| 1．4 TiO_2—SnO_2复合氧化物湿敏材料的研究 | 第15-16页 |
| 1．5 湿敏材料的研究 | 第16-20页 |
| 1．5．1 重要术语 | 第16页 |
| 1．5．2 湿敏材料及湿度传感器的分类 | 第16-18页 |
| 1．5．3 湿敏材料的研究现状 | 第18-19页 |
| 1．5．4 材料湿敏性能的测试方法 | 第19-20页 |
| 1．6 选题依据和目的意义 | 第20-24页 |
| 第2章 实验部分 | 第24-34页 |
| 2．1 溶胶—凝胶法合成流程图 | 第24页 |
| 2．2 药品及仪器 | 第24-25页 |
| 2．3 实验过程 | 第25-26页 |
| 2．4 TiO_2-SnO_2体系纳米粉的制备 | 第26页 |
| 2．5 纳米粉体的结构分析与特性表征 | 第26-27页 |
| 2．6 TiO_2-SnO_2体系薄膜的制备 | 第27-29页 |
| 2．7 薄膜的结构分析和特性表征 | 第29页 |
| 2．8 薄膜敏感元件的制备及工艺流程 | 第29-30页 |
| 2．9 薄膜敏感元件湿敏性能的测试 | 第30-34页 |
| 第3章 结果与讨论 | 第34-52页 |
| 3．1 不同工艺成胶效果的比较 | 第34-36页 |
| 3．2 薄膜的XRD分析 | 第36-39页 |
| 3．3 TiO_2-SnO_2薄膜湿敏材料的主要性能参数 | 第39-46页 |
| 3．3．1 感湿特性 | 第39-43页 |
| 3．3．2 温度特性 | 第43-45页 |
| 3．3．3 响应恢复特性 | 第45页 |
| 3．3．4 频率特性 | 第45-46页 |
| 3．3．5 重复性 | 第46页 |
| 3．3．6 稳定性 | 第46页 |
| 3．4 碱金属掺杂的TiO_2-SnO_2薄膜感湿机理的探讨 | 第46-49页 |
| 3．5 本章小结 | 第49-52页 |
| 结论 | 第52-51页 |
| 致谢 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-57页 |
