线性离子源的综合设计与性能研究
| 中文摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-12页 |
| 第1章 绪论 | 第12-20页 |
| ·课题研究的目的和意义 | 第12-13页 |
| ·课题研究的目的 | 第13页 |
| ·课题研究的意义 | 第13页 |
| ·课题研究的背景和现状 | 第13-17页 |
| ·国外线性离子源的发展现状 | 第13-16页 |
| ·国内线性离子源的发展现状 | 第16-17页 |
| ·课题研究的主要内容 | 第17页 |
| ·课题研究的思路和方法 | 第17-20页 |
| ·拟解决的关键问题 | 第18页 |
| ·方法和技术路线 | 第18-19页 |
| ·研究特色与创新之处 | 第19-20页 |
| 第2章 线性离子源的原理和结构设计 | 第20-28页 |
| ·线性离子源的工作原理 | 第20-21页 |
| ·线性离子源的特点和应用 | 第21-24页 |
| ·线性离子源的特点 | 第21-22页 |
| ·线性离子源的应用 | 第22-24页 |
| ·线性离子源的结构设计 | 第24-28页 |
| ·电场系统的设计 | 第24-25页 |
| ·磁路系统的设计 | 第25-26页 |
| ·冷却系统的设计 | 第26页 |
| ·布气系统的设计 | 第26-28页 |
| 第3章 线性离子源的电磁场数值模拟和分析 | 第28-44页 |
| ·电磁场数值模拟的基本原理和模型求解过程 | 第28-31页 |
| ·电磁场数值模拟的原理和方法 | 第28-29页 |
| ·线性离子源物理模型的建立和求解过程 | 第29-31页 |
| ·线性离子源磁场的数值模拟与分析 | 第31-40页 |
| ·线性离子源对磁场的基本要求 | 第31页 |
| ·线性离子源磁场的二维模拟与分析 | 第31-38页 |
| ·线性离子源磁场的三维模拟与分析 | 第38-40页 |
| ·线性离子源电场的数值模拟与分析 | 第40-42页 |
| ·线性离子源对电场的基本要求 | 第40页 |
| ·线性离子源电场的二维模拟与分析 | 第40-42页 |
| ·改进型线性离子源的电磁场数值模拟与分析 | 第42-44页 |
| ·改进型线性离子源的磁场模拟与分析 | 第42-43页 |
| ·改进型线性离子源的电场模拟与分析 | 第43-44页 |
| 第4章 线性离子源的等离子体粒子模拟与分析 | 第44-64页 |
| ·等离子体粒子模拟的方法 | 第44-45页 |
| ·等离子体PIC-MCC方法模拟流程 | 第45-47页 |
| ·线性离子源的物理模型与求解步骤 | 第47-50页 |
| ·线性离子源的模型建立 | 第48-49页 |
| ·模型的加载和求解步骤 | 第49-50页 |
| ·线性离子源的粒子模拟与结果分析 | 第50-60页 |
| ·放电电压对线性离子源的影响分析 | 第52-54页 |
| ·工作气压对线性离子源的影响分析 | 第54-55页 |
| ·气体种类对线性离子源的影响分析 | 第55-57页 |
| ·基片偏压对线性离子源的影响分析 | 第57-60页 |
| ·改进型线性离子源的粒子模拟与结果分析 | 第60-64页 |
| 第5章 线性离子源的实验验证与性能研究 | 第64-74页 |
| ·线性离子源的实验方案 | 第64页 |
| ·实验设备简介 | 第64-67页 |
| ·设备主要系统介绍 | 第64-66页 |
| ·实验设备的具体参数 | 第66页 |
| ·实验设备中的线性离子源 | 第66-67页 |
| ·线性离子源磁场的测量与分析 | 第67-70页 |
| ·线性离子源放电性能的实验与分析 | 第70-74页 |
| ·对工作电压的实验研究与分析 | 第70-71页 |
| ·对气体流量的实验研究与分析 | 第71-72页 |
| ·对基片偏压的实验研究与分析 | 第72-74页 |
| 第6章 结论与展望 | 第74-76页 |
| ·本文工作的总结 | 第74-75页 |
| ·后期工作的展望和思考 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-80页 |
| 致谢 | 第80页 |
