ZnO纳米薄膜的制备及其性能研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 引言 | 第9-19页 |
| ·ZnO半导体薄膜 | 第9页 |
| ·ZnO薄膜的基本特性 | 第9-13页 |
| ·ZnO的基本性质 | 第9-11页 |
| ·ZnO薄膜的光电特性 | 第11-12页 |
| ·ZnO薄膜的压电特性 | 第12-13页 |
| ·ZnO薄膜的气敏特性 | 第13页 |
| ·ZnO薄膜的制备方法 | 第13-18页 |
| ·液相化学法 | 第14-17页 |
| ·气相传输法 | 第17-18页 |
| ·选题意义和研究内容 | 第18-19页 |
| 第二章 样品的制备和表征 | 第19-30页 |
| ·实验原料及仪器设备 | 第19页 |
| ·溶胶-凝胶法制备AZO薄膜 | 第19-20页 |
| ·低温水溶液法制备ZnO薄膜 | 第20-21页 |
| ·样品的表征 | 第21-30页 |
| ·X射线衍射(XRD) | 第21-22页 |
| ·扫描电子显微术(SEM) | 第22-24页 |
| ·透射电子显微术(TEM) | 第24页 |
| ·X射线光电子能谱(XPS) | 第24-25页 |
| ·紫外-可见分光光度计测量透光率 | 第25-27页 |
| ·四探针法测量方块电阻 | 第27-30页 |
| 第三章 溶胶-凝胶法制备AZO薄膜及其性能研究 | 第30-38页 |
| ·ZnO薄膜的形成机理 | 第30-31页 |
| ·升温速率对AZO薄膜的影响 | 第31-35页 |
| ·升温速率对AZO薄膜形貌和结构的影响 | 第31-33页 |
| ·升温速率对AZO薄膜光学性能的影响 | 第33-34页 |
| ·升温速率对AZO薄膜电学性能的影响 | 第34-35页 |
| ·还原气氛处理对AZO薄膜电学性能的影响 | 第35-38页 |
| 第四章 低温水溶液法制备ZnO纳米棒阵列薄膜 | 第38-52页 |
| ·ZnO薄膜的形成过程 | 第38-39页 |
| ·KMnO_4活化衬底对ZnO薄膜的影响 | 第39页 |
| ·pH值对ZnO薄膜的影响 | 第39-46页 |
| ·乙醇胺的浓度对ZnO薄膜的影响 | 第46-48页 |
| ·反应温度对ZnO薄膜的影响 | 第48-50页 |
| ·不同衬底对ZnO薄膜的影响 | 第50-52页 |
| 第五章 结论 | 第52-54页 |
| 参考文献 | 第54-57页 |
| 研究生期间发表的论文 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58页 |
