基于MEMS的压电超声技术的研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-15页 |
| 第1章 绪论 | 第15-27页 |
| ·MEMS技术及应用 | 第15-20页 |
| ·微机电系统(MEMS)概述 | 第15-16页 |
| ·MEMS加工工艺 | 第16-18页 |
| ·MEMS技术的应用 | 第18-20页 |
| ·本文研究内容 | 第20-24页 |
| ·基于MEMS的新型超声检测换能器 | 第20-21页 |
| ·超声在微流体技术中的应用 | 第21-22页 |
| ·应用于压电超声的ZnO薄膜的研究 | 第22-24页 |
| 参考文献 | 第24-27页 |
| 第2章 用于超声检测的PZT/Si复合换能器 | 第27-54页 |
| ·压电超声 | 第27-32页 |
| ·压电效应与压电材料 | 第27-29页 |
| ·超声检测技术 | 第29-32页 |
| ·新型PZT/Si复合超声检测换能器 | 第32-33页 |
| ·复合层板的力学分析 | 第33-37页 |
| ·PZT/Si复合板有限元数值分析 | 第37-51页 |
| ·复合换能器的静力分析 | 第38-44页 |
| ·复合换能器的逆压电分析 | 第44-47页 |
| ·压电复合换能器的共振频率 | 第47-48页 |
| ·PZT/Si复合材料换能器结构的制作 | 第48-51页 |
| ·小结 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-54页 |
| 第3章 微流体装置中的声流的研究 | 第54-80页 |
| ·微流体技术 | 第54-59页 |
| ·微流体技术概述 | 第54-55页 |
| ·微流体技术的种类及应用 | 第55-59页 |
| ·超声驱动技术-声流的研究 | 第59-60页 |
| ·声流概述 | 第59-60页 |
| ·声流的应用 | 第60页 |
| ·微管道中超声流的分析 | 第60-75页 |
| ·声流基本理论 | 第62页 |
| ·微管道中声场分析 | 第62-64页 |
| ·声流驱动力 | 第64-66页 |
| ·微管道内声流 | 第66-75页 |
| ·小结 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-80页 |
| 第4章 ZnO压电薄膜的研究 | 第80-102页 |
| ·引言 | 第80-81页 |
| ·ZnO概述 | 第81-86页 |
| ·基本性质 | 第81-82页 |
| ·ZnO薄膜的应用 | 第82-83页 |
| ·ZnO薄膜的生长技术 | 第83-86页 |
| ·ZnO压电薄膜的生长实验 | 第86-93页 |
| ·ZnO压电薄膜的生长 | 第86-88页 |
| ·扫描电子显微镜测试(SEM) | 第88-89页 |
| ·X射线衍射测试(XRD) | 第89-93页 |
| ·ZnO压电薄膜MEMS器件微制造 | 第93-98页 |
| ·SixNy/ZnO压电复合层薄膜器件初步微制造 | 第93-95页 |
| ·具有下电极的ZnO压电器件的设计工艺 | 第95-98页 |
| ·小结 | 第98-99页 |
| 参考文献 | 第99-102页 |
| 第5章 工作总结与展望 | 第102-104页 |
| ·工作总结 | 第102-103页 |
| ·展望 | 第103-104页 |
| 作者攻读硕士学位期间发表论文 | 第104-105页 |
| 致谢 | 第105页 |
