结合柔性铰链的压电微角度驱动器及其闭环控制研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-16页 |
| ·微位移定位系统的研究背景和意义 | 第8页 |
| ·微位移定位系统的组成 | 第8-11页 |
| ·微动平台组成 | 第8-10页 |
| ·微位移定位中的控制及检测部分 | 第10-11页 |
| ·国内外微动工作台的发展现状 | 第11-14页 |
| ·压电材料的发展 | 第11页 |
| ·压电驱动器控制系统发展 | 第11-12页 |
| ·微位移驱动器的发展 | 第12-14页 |
| ·本课题主要研究内容 | 第14-16页 |
| 第二章 压电微角度驱动器结构设计 | 第16-29页 |
| ·压电微角度驱动器原理介绍 | 第16页 |
| ·压电微角度驱动器结构设计要求 | 第16-17页 |
| ·执行结构的机械材料选择 | 第17-18页 |
| ·压电微角度驱动器执行机构设计 | 第18-22页 |
| ·夹紧器结构设计 | 第20-21页 |
| ·促动器结构设计 | 第21-22页 |
| ·联动盘结构设计 | 第22页 |
| ·驱动器的推—拉运动设计 | 第22-23页 |
| ·促动器数学模型建立 | 第23-24页 |
| ·压电元件特性以及压电陶瓷选择 | 第24-28页 |
| ·压电材料性能参数 | 第24-25页 |
| ·压电材料固有特性 | 第25-26页 |
| ·压电元件选择 | 第26-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 驱动器系统中柔性铰链结构设计 | 第29-40页 |
| ·柔性铰链工作原理介绍 | 第29页 |
| ·柔性铰链分类 | 第29-30页 |
| ·柔性铰链数学建模与分析 | 第30-33页 |
| ·柔性铰链有限元仿真 | 第33-39页 |
| ·有限元分析及其软件简介 | 第33页 |
| ·柔性铰链有限元建模及其仿真分析 | 第33-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 第四章 驱动控制及反馈采集硬件设计 | 第40-52页 |
| ·驱动器系统闭环控制及检测整体设计 | 第40-41页 |
| ·控制信号设计 | 第41-42页 |
| ·DSP 硬件系统设计 | 第42-48页 |
| ·DSP 硬件系统设计概述 | 第42-43页 |
| ·DSP 芯片性能分析 | 第43-44页 |
| ·DSP 外围电路设计 | 第44-45页 |
| ·DSP 电路板及其可靠性设计 | 第45-47页 |
| ·三角波产生电路设计 | 第47-48页 |
| ·系统反馈回路设计 | 第48-51页 |
| ·检测系统总体设计 | 第48-49页 |
| ·采集系统设计 | 第49-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第五章 闭环算法及闭环系统设计 | 第52-62页 |
| ·应用PID 算法设计闭环系统 | 第52-55页 |
| ·数字PID 算法简介 | 第52-53页 |
| ·建立系统模型 | 第53-54页 |
| ·PID 算法程序设计 | 第54-55页 |
| ·PID 调节的性能仿真 | 第55-57页 |
| ·采集通路信号分析与软件实现 | 第57-59页 |
| ·闭环系统程序流程设计 | 第59-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第六章 压电微角度驱动器系统性能测试实验 | 第62-75页 |
| ·实验系统的搭建 | 第62-63页 |
| ·实验环境及装置 | 第62页 |
| ·实验系统平台搭建 | 第62-63页 |
| ·系统性能测试实验及数据分析 | 第63-73页 |
| ·压电陶瓷致动器伸缩实验 | 第63-65页 |
| ·驱动器系统输出角位移随驱动电压变化实验 | 第65-68页 |
| ·驱动器系统输出角位移随驱动频率变化实验 | 第68-70页 |
| ·闭环控制的压电微角度驱动器最小步距测试 | 第70-71页 |
| ·驱动器系统步距稳定性实验 | 第71-72页 |
| ·驱动器系统重复性实验 | 第72-73页 |
| ·实验误差分析 | 第73-74页 |
| ·本章小结 | 第74-75页 |
| 第七章 总结与展望 | 第75-77页 |
| 参考文献 | 第77-80页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第80-81页 |
| 致谢 | 第81页 |
