| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-13页 |
| ·光导开关的研究背景 | 第7-9页 |
| ·SiC光导开关的优势及研究现状 | 第9-11页 |
| ·SiC光导开关的应用前景及关键技术 | 第11页 |
| ·本文主要工作和章节安排 | 第11-13页 |
| 第二章 SiC光导开关材料和器件特性研究 | 第13-27页 |
| ·SiC材料特性及半绝缘机理 | 第13-18页 |
| ·SiC材料特性 | 第13-16页 |
| ·SiC材料半绝缘机理 | 第16-18页 |
| ·光导开关基本结构与原理 | 第18-21页 |
| ·光导开关的基本结构 | 第18-19页 |
| ·光导开关的基本工作原理 | 第19-21页 |
| ·影响SiC-PCSS的因素 | 第21-26页 |
| ·材料参数对光导开关性能的影响 | 第21-22页 |
| ·电极接触对光导开关性能的影响 | 第22-23页 |
| ·外部光源对光导开关转化率的影响 | 第23-24页 |
| ·不同材料光导开关的差异及存在问题 | 第24-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 第三章 SiC-PCSS材料与器件的模拟研究 | 第27-41页 |
| ·SiC-PCSS的器件结构与模拟流程 | 第27-28页 |
| ·SiC-PCSS的器件模型 | 第27页 |
| ·模拟流程 | 第27-28页 |
| ·建立模型 | 第28-34页 |
| ·基本状态方程模型 | 第29-30页 |
| ·迁移率模型 | 第30页 |
| ·复合模型 | 第30-31页 |
| ·不完全离化模型 | 第31页 |
| ·光产生模型 | 第31-32页 |
| ·边界条件 | 第32-33页 |
| ·网格划分 | 第33-34页 |
| ·模拟结果与分析 | 第34-40页 |
| ·本征SiC-PCSS的模拟结果与分析 | 第34-36页 |
| ·掺钒补偿型半绝缘SiC-PCSS的模拟结果与分析 | 第36-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第四章 结构设计与工艺 | 第41-49页 |
| ·横向SiC-PCSS的设计和实现 | 第41-44页 |
| ·一种横向SiC-PCSS结构 | 第41-42页 |
| ·横向SiC-PCSS工艺设计 | 第42-44页 |
| ·具体工艺步骤及参数 | 第44-47页 |
| ·本章小结 | 第47-49页 |
| 第五章 结束语 | 第49-51页 |
| 致谢 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-56页 |
| 攻读硕士学位期间参加的科研项目、完成的学术论文情况 | 第56-57页 |