摘要 | 第9-11页 |
Abstract | 第11-12页 |
第1章 绪论 | 第13-22页 |
1.1 选题背景 | 第13页 |
1.2 涂层制备方法 | 第13-16页 |
1.2.1 化学气相沉积技术 | 第14-15页 |
1.2.2 物理气相沉积技术 | 第15-16页 |
1.3 刀具涂层的发展现状 | 第16-20页 |
1.3.1 涂层材料的发展现状 | 第16-18页 |
1.3.2 涂层设备与工艺的发展现状 | 第18-20页 |
1.4 本文主要研究内容 | 第20-22页 |
第2章 实验内容及研究方法 | 第22-37页 |
2.1 实验材料的选择 | 第22-23页 |
2.1.1 基体材料 | 第22页 |
2.1.2 涂层材料 | 第22-23页 |
2.2 涂层设备 | 第23-30页 |
2.2.1 阴极电弧离子镀膜机 | 第23-25页 |
2.2.2 离子刻蚀技术原理 | 第25-26页 |
2.2.3 工具镀膜的前处理方法与设备 | 第26-30页 |
2.3 涂层基本制备工艺 | 第30-32页 |
2.4 涂层的检测方法与检测设备 | 第32-35页 |
2.4.1 涂层厚度与显微硬度表征 | 第32-33页 |
2.4.2 涂层结合强度 | 第33-34页 |
2.4.3 显微形貌及成分分析 | 第34页 |
2.4.4 涂层物相及结构分析 | 第34-35页 |
2.4.5 涂层摩擦磨损及耐腐蚀性分析 | 第35页 |
2.5 本章小结 | 第35-37页 |
第3章 不同沉积工艺制备CrAlN涂层的性能对比研究 | 第37-48页 |
3.1 涂层沉积参数和工艺 | 第37-38页 |
3.2 涂层显微形貌及成分 | 第38-40页 |
3.3 涂层力学性能 | 第40-44页 |
3.3.1 涂层厚度和硬度 | 第40页 |
3.3.2 涂层结合力 | 第40-42页 |
3.3.3 涂层摩擦学性能 | 第42-44页 |
3.4 涂层耐腐蚀性能 | 第44-45页 |
3.5 涂层相结构分析 | 第45页 |
3.6 涂层产品使用效果 | 第45-47页 |
3.7 本章小结 | 第47-48页 |
第4章 不同沉积工艺制备CrAlSiN涂层的性能对比研究 | 第48-59页 |
4.1 涂层沉积参数和工艺 | 第48-49页 |
4.2 涂层显微形貌及成分 | 第49-51页 |
4.3 涂层力学性能 | 第51-55页 |
4.3.1 涂层厚度和硬度 | 第51-52页 |
4.3.2 涂层结合力 | 第52-54页 |
4.3.3 涂层摩擦学特性 | 第54-55页 |
4.4 涂层耐腐蚀性能 | 第55-56页 |
4.5 涂层相结构分析 | 第56-57页 |
4.6 涂层产品使用效果 | 第57-58页 |
4.7 本章小结 | 第58-59页 |
第5章 CrAlN多层涂层性能的对比分析研究 | 第59-69页 |
5.1 涂层沉积参数和工艺 | 第59-60页 |
5.2 涂层显微形貌及成分 | 第60-61页 |
5.3 涂层力学性能 | 第61-66页 |
5.3.1 涂层厚度和硬度 | 第61-63页 |
5.3.2 涂层结合力 | 第63-65页 |
5.3.3 涂层摩擦学性能 | 第65-66页 |
5.4 涂层耐腐蚀性能 | 第66-67页 |
5.5 涂层产品使用效果 | 第67-68页 |
5.6 本章小结 | 第68-69页 |
第6章 结论与展望 | 第69-71页 |
6.1 结论 | 第69页 |
6.2 展望 | 第69-71页 |
参考文献 | 第71-76页 |
攻读硕士学位期间论文发表及科研情况 | 第76-77页 |
致谢 | 第77页 |