| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 第1章 绪论 | 第12-30页 |
| 1.1 引言 | 第12-13页 |
| 1.2 钙钛矿无铅压电材料的研究 | 第13-15页 |
| 1.2.1 KNN基材料 | 第13-14页 |
| 1.2.2 BNT基材料 | 第14页 |
| 1.2.3 BTO基材料 | 第14-15页 |
| 1.3 BTO基材料的研究现状 | 第15-22页 |
| 1.3.1 BTO的结构特征 | 第15-17页 |
| 1.3.2 BTO基材料的改性研究 | 第17-20页 |
| 1.3.3 BTO基薄膜的制备工艺 | 第20-22页 |
| 1.4 (1-x)BZT-xBCT的研究现状 | 第22-28页 |
| 1.4.1 (1-x)BZT-xBCT的结构特征 | 第22-25页 |
| 1.4.2 (1-x)BZT-xBCT陶瓷材料的研究 | 第25-26页 |
| 1.4.3 (1-x)BZT-xBCT薄膜材料及改性研究 | 第26-28页 |
| 1.5 本论文的研究意义与内容 | 第28-30页 |
| 1.5.1 研究意义 | 第28-29页 |
| 1.5.2 研究内容 | 第29-30页 |
| 第2章 BTO基薄膜的制备及结构与性能表征 | 第30-47页 |
| 2.1 BTO基薄膜的制备 | 第30-34页 |
| 2.1.1 实验原料 | 第30-31页 |
| 2.1.2 实验设备 | 第31页 |
| 2.1.3 薄膜的制备工艺 | 第31-34页 |
| 2.2 薄膜样品的测试方法 | 第34-41页 |
| 2.2.1 薄膜样品的结构表征 | 第34-35页 |
| 2.2.2 薄膜样品电性能表征 | 第35-41页 |
| 2.3 BTO薄膜的制备工艺 | 第41-46页 |
| 2.4 本章小结 | 第46-47页 |
| 第3章 BTO薄膜的掺杂改性研究 | 第47-81页 |
| 3.1 引言 | 第47-48页 |
| 3.2 Zr掺杂BTO薄膜的结构与性能 | 第48-59页 |
| 3.2.1 BZT薄膜的相结构 | 第48-51页 |
| 3.2.2 BZT薄膜的介电性能 | 第51-53页 |
| 3.2.3 BZT薄膜的弥散和弛豫分析 | 第53-56页 |
| 3.2.4 BZT薄膜的铁电性能 | 第56-57页 |
| 3.2.5 BZT薄膜的漏电分析 | 第57-59页 |
| 3.3 Fe掺杂BTO薄膜的结构与性能 | 第59-70页 |
| 3.3.1 BTFO薄膜的相结构 | 第59-61页 |
| 3.3.2 BTFO薄膜的Raman光谱分析 | 第61-62页 |
| 3.3.3 BTFO薄膜的介电性能 | 第62-65页 |
| 3.3.4 BTFO薄膜的铁电性能 | 第65-67页 |
| 3.3.5 BTFO薄膜的压电性能 | 第67-69页 |
| 3.3.6 BTFO薄膜的漏电分析 | 第69-70页 |
| 3.4 不同热处理气氛BaTi_(0.99)Fe_(0.01)O_3薄膜的结构与性能 | 第70-79页 |
| 3.4.1 实验设计 | 第70-71页 |
| 3.4.2 不同热处理气氛BaTi_(0.99)Fe_(0.01)O_3薄膜的相结构 | 第71-74页 |
| 3.4.3 不同热处理气氛BaTi_(0.99)Fe_(0.01)O_3薄膜的介电性能 | 第74-75页 |
| 3.4.4 不同热处理气氛BaTi_(0.99)Fe_(0.01)O_3薄膜的铁电性能 | 第75-76页 |
| 3.4.5 不同热处理气氛BaTi_(0.99)Fe_(0.01)O_3薄膜的漏电分析 | 第76-77页 |
| 3.4.6 不同热处理气氛BaTi_(0.99)Fe_(0.01)O_3薄膜的阻抗分析 | 第77-79页 |
| 3.5 本章小结 | 第79-81页 |
| 第4章 (1-x)BZT-xBCT薄膜结构和性能研究 | 第81-100页 |
| 4.1 引言 | 第81页 |
| 4.2 0.5BZT-0.5BCT薄膜的制备工艺优化及性能 | 第81-88页 |
| 4.2.1 热处理温度和热处理时间对0.5BZT-0.5BCT薄膜的影响 | 第81-85页 |
| 4.2.2 厚度对0.5BZT-0.5BCT薄膜的结构和性能的影响 | 第85-88页 |
| 4.3 不同组分(1-x)BZT-xBCT薄膜的结构与性能 | 第88-98页 |
| 4.3.1 不同组分(1-x)BZT-xBCT薄膜的相结构 | 第88-90页 |
| 4.3.2 不同组分(1-x)BZT-xBCT薄膜的介电性能 | 第90-93页 |
| 4.3.3 不同组分(1-x)BZT-xBCT薄膜的铁电性能 | 第93-95页 |
| 4.3.4 不同组分(1-x)BZT-xBCT薄膜的压电性能 | 第95-96页 |
| 4.3.5 不同组分(1-x)BZT-xBCT薄膜的漏电分析 | 第96-98页 |
| 4.4 本章小结 | 第98-100页 |
| 第5章 0.5BZT-0.5BCT薄膜的掺杂改性研究 | 第100-126页 |
| 5.1 引言 | 第100-101页 |
| 5.2 Fe掺杂0.5BZT-0.5BCT薄膜的结构与性能 | 第101-113页 |
| 5.2.1 Fe/Nb掺杂0.5BZT-0.5BCT薄膜的制备 | 第101页 |
| 5.2.2 0.5BZT-0.5BCT-xFe薄膜的相结构 | 第101-104页 |
| 5.2.3 0.5BZT-0.5BCT-xFe薄膜的介电性能 | 第104-110页 |
| 5.2.4 BZT-0.5BCT-xFe薄膜的铁电性能 | 第110-111页 |
| 5.2.5 BZT-0.5BCT-xFe薄膜的压电性能 | 第111-113页 |
| 5.3 Nb掺杂0.5BZT-0.5BCT薄膜的结构与性能 | 第113-124页 |
| 5.3.1 0.5BZT-0.5BCT-xNb薄膜的相结构 | 第113-116页 |
| 5.3.2 0.5BZT-0.5BCT-xNb薄膜的介电性能 | 第116-121页 |
| 5.3.3 0.5BZT-0.5BCT-xNb薄膜的铁电性能 | 第121-122页 |
| 5.3.4 0.5BZT-0.5BCT-xNb薄膜的压电性能 | 第122-124页 |
| 5.4 本章小结 | 第124-126页 |
| 第6章 结论与展望 | 第126-129页 |
| 6.1 结论 | 第126-128页 |
| 6.2 展望 | 第128-129页 |
| 致谢 | 第129-130页 |
| 参考文献 | 第130-144页 |
| 附录1 博士学习期间已经发表 | 第144页 |
| 附录2 博士学习期间参加的会议 | 第144页 |
| 附录3 博士学习期间参与的科研项目 | 第144页 |
