| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 第1章 绪论 | 第13-29页 |
| 1.1 课题研究背景与意义 | 第13-15页 |
| 1.2 ITO检测技术研究现状 | 第15-20页 |
| 1.2.1 通电检测 | 第16-18页 |
| 1.2.2 人工显微镜检测 | 第18页 |
| 1.2.3 自动光学检测 | 第18-20页 |
| 1.3 相移数字全息概述 | 第20-25页 |
| 1.3.1 数字全息的发展过程 | 第20-22页 |
| 1.3.2 相移数字全息研究现状 | 第22-25页 |
| 1.4 论文研究目和研究内容 | 第25-28页 |
| 1.4.1 论文研究目的 | 第26页 |
| 1.4.2 论文的主要研究内容 | 第26-28页 |
| 1.5 本章小结 | 第28-29页 |
| 第2章 相移数字全息基本原理 | 第29-53页 |
| 2.1 全息术的基本原理 | 第29-35页 |
| 2.1.1 全息术原理概述 | 第29-31页 |
| 2.1.2 离轴全息原理 | 第31-33页 |
| 2.1.3 相移数字全息原理 | 第33-35页 |
| 2.2 相移的实现 | 第35-37页 |
| 2.2.1 压电陶瓷法 | 第35-36页 |
| 2.2.2 衍射光栅相移法 | 第36-37页 |
| 2.2.3 偏振相移法 | 第37页 |
| 2.3 数字全息记录 | 第37-40页 |
| 2.3.1 数字全息记录模型 | 第37-38页 |
| 2.3.2 数字全息记录条件分析 | 第38-40页 |
| 2.4 相移算法 | 第40-45页 |
| 2.4.1 定步长相移算法 | 第40-43页 |
| 2.4.2 等步长相移算法 | 第43-44页 |
| 2.4.3 随机步长相移算法 | 第44-45页 |
| 2.5 相移数字全息再现 | 第45-49页 |
| 2.5.1 角谱衍射 | 第45-46页 |
| 2.5.2 基尔霍夫及瑞利-索末菲衍射 | 第46-47页 |
| 2.5.3 菲涅尔衍射 | 第47-48页 |
| 2.5.4 夫琅禾费衍射 | 第48-49页 |
| 2.6 三维形貌测量原理 | 第49-50页 |
| 2.7 本章小结 | 第50-53页 |
| 第3章 相移量的精确控制 | 第53-77页 |
| 3.1 偏振相移法相移量控制理论模型 | 第53-54页 |
| 3.2 偏振相移法相移量控制现状 | 第54-61页 |
| 3.2.1 相移量控制的必要性 | 第54-55页 |
| 3.2.2 偏振相移装置精度分析 | 第55-56页 |
| 3.2.3 基于迭代的相移量提取算法 | 第56-61页 |
| 3.3 提升偏振相移精度的方法 | 第61-67页 |
| 3.3.1 偏振片垂直度对相移精度的影响分析及校正方法 | 第61-65页 |
| 3.3.2 偏振法相移量精确控制 | 第65-67页 |
| 3.4 一种定步长相移控制方法 | 第67-72页 |
| 3.4.1 相移评价函数理论分析 | 第67-70页 |
| 3.4.2 相移评价函数精度验证 | 第70-72页 |
| 3.5 一种相移量提取方法 | 第72-75页 |
| 3.6 本章小结 | 第75-77页 |
| 第4章 ITO线路的相移数字全息测量 | 第77-103页 |
| 4.1 ITO测量全息试验平台搭建 | 第77-79页 |
| 4.1.1 相移数字全息记录方式 | 第77-78页 |
| 4.1.2 测量系统搭建 | 第78-79页 |
| 4.2 全息图条纹漂移消除方法 | 第79-86页 |
| 4.2.1 条纹漂移影响因素分析 | 第79-81页 |
| 4.2.2 频域滤波法消除条纹漂移影响 | 第81-84页 |
| 4.2.3 干扰消除效果试验验证 | 第84-86页 |
| 4.3 附加相位的产生和消除 | 第86-98页 |
| 4.3.1 附加相位的产生 | 第86-89页 |
| 4.3.2 像差对相位的影响 | 第89-94页 |
| 4.3.3 附加相位的消除 | 第94-96页 |
| 4.3.4 附加相位消除效果试验对比 | 第96-98页 |
| 4.4 ITO玻璃基板测量结果 | 第98-100页 |
| 4.5 本章小结 | 第100-103页 |
| 第5章 误差分析 | 第103-121页 |
| 5.1 相移数字全息误差源 | 第103-105页 |
| 5.1.1 相移误差 | 第103-104页 |
| 5.1.2 振动误差 | 第104页 |
| 5.1.3 探测器非线性误差 | 第104-105页 |
| 5.1.4 光源不稳定性误差 | 第105页 |
| 5.2 相移误差和振动对相位误差的影响分析 | 第105-115页 |
| 5.3 探测器非线性对相位误差的影响分析 | 第115-116页 |
| 5.4 光源不稳定性对相位误差的影响分析 | 第116-117页 |
| 5.5 系统误差总述 | 第117-118页 |
| 5.6 本章小结 | 第118-121页 |
| 第6章 总结与展望 | 第121-125页 |
| 6.1 论文的主要工作 | 第121页 |
| 6.2 论文的创新点 | 第121-122页 |
| 6.3 展望 | 第122-125页 |
| 参考文献 | 第125-135页 |
| 致谢 | 第135-137页 |
| 作者简介及在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第137-138页 |