基于QPD的单透镜二维微角度传感器技术研究
| 致谢 | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 目次 | 第8-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-20页 |
| ·课题背景与研究意义 | 第10-12页 |
| ·课题背景 | 第10-12页 |
| ·研究意义 | 第12页 |
| ·国内外研究现状 | 第12-19页 |
| ·圆光栅测角 | 第13页 |
| ·激光干涉测角法 | 第13-14页 |
| ·光学内反射测角法 | 第14-15页 |
| ·环形激光器法 | 第15-17页 |
| ·传统的激光自准直法 | 第17-19页 |
| ·本文主要研究内容 | 第19页 |
| ·本章小结 | 第19-20页 |
| 第2章 微角度传感器的总体设计和光学原理及组成 | 第20-34页 |
| ·测量系统的总体设计 | 第20页 |
| ·传感器的光学原理 | 第20-21页 |
| ·传感器的光学系统组成 | 第21-22页 |
| ·系统构成的主要元器件选择分析 | 第22-28页 |
| ·光源-激光二极管 | 第22-24页 |
| ·四象限光电二极管 | 第24-27页 |
| ·圆偏振器(波片+偏振光束分裂器PBS) | 第27-28页 |
| ·平凸透镜 | 第28页 |
| ·机械结构的设计加工 | 第28-29页 |
| ·减小传感器尺寸的可行性分析计算 | 第29-33页 |
| ·传感器灵敏度的计算 | 第29-32页 |
| ·单透镜取代双透镜 | 第32页 |
| ·QPD的离焦设置 | 第32-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第3章 角度传感器的信号处理电路与软件设计 | 第34-49页 |
| ·前置放大电路的设计 | 第35-39页 |
| ·光电二极管的基本特性和探测方式 | 第35-38页 |
| ·前置放大器的选择 | 第38-39页 |
| ·滤波与反向放大电路的设计 | 第39-43页 |
| ·数据采集 | 第43页 |
| ·软件设计 | 第43-48页 |
| ·LabVIEW平台简介 | 第43-45页 |
| ·基于LabVIEW的测量系统软件实现 | 第45-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第4章 实验结果及分析 | 第49-64页 |
| ·角度传感器的校正、标定实验 | 第49-54页 |
| ·实验设备支持 | 第49-51页 |
| ·方案设定 | 第51-54页 |
| ·实验结果 | 第54-61页 |
| ·测量范围 | 第56页 |
| ·线性度验证 | 第56-57页 |
| ·重复性验证 | 第57-59页 |
| ·灵敏度验证 | 第59-60页 |
| ·分辨率 | 第60-61页 |
| ·实验结果影响因素分析 | 第61-62页 |
| ·机械结构因素 | 第61页 |
| ·各光学仪器的性能因素 | 第61页 |
| ·信号处理电路的因素 | 第61-62页 |
| ·非测量光的因素 | 第62页 |
| ·实验结论 | 第62-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 第5章 总结及展望 | 第64-66页 |
| ·总结 | 第64-65页 |
| ·展望 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
| 硕士期间发表的论文和专利 | 第70页 |
