| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-15页 |
| 1.1 课题背景和研究意义 | 第9-10页 |
| 1.2 磁传感器的研究现状 | 第10-13页 |
| 1.2.1 传统磁传感技术的国内外现状 | 第10-12页 |
| 1.2.2 采用磁致伸缩材料的复合磁传感技术 | 第12-13页 |
| 1.2.3 谐振式磁传感器技术的国内外现状 | 第13页 |
| 1.3 本课题研究内容 | 第13-15页 |
| 2 磁致伸缩材料介绍及仿真 | 第15-25页 |
| 2.1 磁致伸缩效应的产生机理 | 第15-16页 |
| 2.2 磁致伸缩材料特性 | 第16页 |
| 2.3 磁致伸缩材料分类 | 第16-18页 |
| 2.3.1 传统磁致伸缩材料 | 第16-17页 |
| 2.3.2 稀土超磁致伸缩材料与FeGa磁致伸缩合金 | 第17页 |
| 2.3.3 磁致伸缩薄膜材料 | 第17-18页 |
| 2.4 磁致伸缩材料性能仿真方法 | 第18-22页 |
| 2.4.1 有限元方法概述 | 第18-19页 |
| 2.4.2 磁致伸缩材料固体力学性能仿真设置 | 第19页 |
| 2.4.3 磁致伸缩材料磁学性能仿真设置 | 第19-21页 |
| 2.4.4 磁致伸缩材料单向耦合相关设置 | 第21-22页 |
| 2.5 磁致伸缩材料仿真结果 | 第22-24页 |
| 2.6 小结 | 第24-25页 |
| 3 谐振音叉及其力敏特性分析 | 第25-34页 |
| 3.1 概述 | 第25-26页 |
| 3.2 轴向力作用下梁的力频特性分析 | 第26-27页 |
| 3.3 双端固定音叉谐振器及模态选择 | 第27-29页 |
| 3.4 音叉谐振器的力敏特性 | 第29-31页 |
| 3.4.1 谐振器力频特性理论计算 | 第30-31页 |
| 3.5 音叉谐振器仿真分析 | 第31-33页 |
| 3.5.1 梁振动特性仿真分析 | 第31-32页 |
| 3.5.2 三梁音叉谐振器振动特性仿真分析 | 第32-33页 |
| 3.6 小结 | 第33-34页 |
| 4 磁致伸缩/三梁音叉谐振器复合的磁传感器研究 | 第34-51页 |
| 4.1 传感器原理及结构 | 第34-36页 |
| 4.1.1 传感器工作原理 | 第34页 |
| 4.1.2 传感器结构 | 第34-35页 |
| 4.1.3 激励及检测方式 | 第35-36页 |
| 4.2 理论分析 | 第36-39页 |
| 4.3 COMSOL仿真分析 | 第39-49页 |
| 4.3.1 传感器仿真分析基本步骤 | 第39-41页 |
| 4.3.2 磁致伸缩/谐振器复合结构仿真结果分析 | 第41-45页 |
| 4.3.3 磁致伸缩/谐振器/磁致伸缩复合结构仿真结果分析 | 第45-49页 |
| 4.4 单双层结构理论比仿真对比分析 | 第49页 |
| 4.5 小结 | 第49-51页 |
| 5 磁致伸缩/三梁音叉谐振器复合的磁传感器实验研究 | 第51-58页 |
| 5.1 概述 | 第51页 |
| 5.2 磁致伸缩/音叉谐振器复合磁传感器制作 | 第51-52页 |
| 5.3 谐振式磁传感器测试系统 | 第52-53页 |
| 5.4 磁传感器实验测试 | 第53-56页 |
| 5.4.1 磁致伸缩层/谐振器结构实验 | 第53-54页 |
| 5.4.2 磁致伸缩层/谐振器/磁致伸缩层结构实验 | 第54-56页 |
| 5.6 小结 | 第56-58页 |
| 6 总结与展望 | 第58-60页 |
| 6.1 工作总结 | 第58页 |
| 6.2 未来工作展望 | 第58-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-65页 |
| 攻读硕士期间已获科研成果 | 第65页 |
