| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 引言 | 第9-10页 |
| 1.2 薄膜磁电复合材料概述 | 第10-13页 |
| 1.3 薄膜磁电传感器研究现状 | 第13-18页 |
| 1.4 选题目的及研究内容 | 第18-19页 |
| 2 微桥型薄膜磁电传感器仿真研究 | 第19-31页 |
| 2.1 PZT薄膜和FeCoSiB薄膜 | 第19-21页 |
| 2.2 理论基础与模型建立 | 第21-25页 |
| 2.3 仿真结果与讨论 | 第25-29页 |
| 2.4 本章小结 | 第29-31页 |
| 3 PZT/FeCoSiB复合薄膜的制备与表征 | 第31-43页 |
| 3.1 Sol-Gel法制备PZT薄膜 | 第31-37页 |
| 3.2 RF-Sputtering法制备FeCoSiB薄膜 | 第37页 |
| 3.3 薄膜表征与性能分析 | 第37-41页 |
| 3.4 本章小结 | 第41-43页 |
| 4 微桥型薄膜磁电传感器制备与测试 | 第43-54页 |
| 4.1 微桥型薄膜磁电传感器的制备 | 第43-49页 |
| 4.2 薄膜磁电传感器的性能测试 | 第49-52页 |
| 4.3 结果与讨论 | 第52-53页 |
| 4.4 本章小结 | 第53-54页 |
| 5 总结与展望 | 第54-56页 |
| 5.1 全文总结 | 第54-55页 |
| 5.2 工作展望 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-62页 |
| 附录1 攻读学位期间发表论文目录 | 第62页 |