| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-22页 |
| 1.1 铁电材料及其基本性质 | 第10页 |
| 1.2 铁电薄膜的导电机理 | 第10-13页 |
| 1.2.1 欧姆传导机制 | 第11页 |
| 1.2.2 空间电荷限制电流传导机制(SCLC) | 第11-12页 |
| 1.2.3 P-F发射机制 | 第12页 |
| 1.2.4 Schottky发射机制 | 第12页 |
| 1.2.5 F-N隧穿效应 | 第12-13页 |
| 1.3 BFO的结构与性能 | 第13页 |
| 1.4 BFO薄膜的研究进展 | 第13-20页 |
| 1.4.1 制备方法的研究 | 第14-17页 |
| 1.4.2 掺杂改性 | 第17-20页 |
| 1.5 本课题的研究对象及主要内容 | 第20-22页 |
| 1.5.1 研究对象的选择 | 第20-21页 |
| 1.5.2 本文的研究内容 | 第21-22页 |
| 第2章 实验方案设计与研究方法 | 第22-29页 |
| 2.1 实验所需化学原料及仪器设备 | 第22页 |
| 2.2 BFO薄膜的制备 | 第22-25页 |
| 2.2.1 衬底的准备 | 第23-24页 |
| 2.2.2 前驱体溶液的配制 | 第24页 |
| 2.2.3 湿膜制备及热处理 | 第24-25页 |
| 2.3 薄膜表征技术 | 第25-29页 |
| 2.3.1 X射线衍射(XRD)分析 | 第25-26页 |
| 2.3.2 扫描电子显微镜(SEM) | 第26-27页 |
| 2.3.3 原子力显微镜(AFM) | 第27页 |
| 2.3.4 铁电测试仪 | 第27-29页 |
| 第3章 前驱体溶液浓度对BFMO薄膜电性能的影响 | 第29-38页 |
| 3.1 引言 | 第29页 |
| 3.2 前驱体溶液浓度对BFMO薄膜晶体结构的影响 | 第29-30页 |
| 3.3 前驱体溶液浓度对BFMO薄膜表面形貌的影响 | 第30-31页 |
| 3.4 前驱体溶液浓度对BFMO薄膜铁电性能的影响 | 第31-32页 |
| 3.5 前驱体溶液浓度对BFMO薄膜漏电性能的影响 | 第32-33页 |
| 3.6 前驱体溶液浓度对BFMO薄膜漏电机制的影响 | 第33-37页 |
| 3.6.1 BFO薄膜导电机制的理论基础 | 第33-35页 |
| 3.6.2 BFMO薄膜的漏电机制 | 第35-37页 |
| 3.7 本章小结 | 第37-38页 |
| 第4章 Zn掺杂对BFO薄膜结构和性能的影响 | 第38-46页 |
| 4.1 引言 | 第38页 |
| 4.2 Zn掺杂对BFO薄膜晶体结构的影响 | 第38-39页 |
| 4.3 Zn掺杂对BFO薄膜表面形貌的影响 | 第39-41页 |
| 4.4 Zn掺杂对BFO薄膜漏电性能的影响 | 第41-42页 |
| 4.5 Zn掺杂对BFO薄膜漏电机制的影响 | 第42-44页 |
| 4.6 Zn掺杂对BFO薄膜铁电性能的影响 | 第44-45页 |
| 4.7 本章小结 | 第45-46页 |
| 第5章 Cu、Zn、Mn掺杂对BFO薄膜结构和性能的影响 | 第46-51页 |
| 5.1 引言 | 第46页 |
| 5.2 Cu、Zn、Mn掺杂对BFO薄膜晶体结构的影响 | 第46-47页 |
| 5.3 Cu、Zn、Mn掺杂对BFO薄膜漏电性能的影响 | 第47页 |
| 5.4 Cu、Zn、Mn掺杂对BFO薄膜漏电机制的影响 | 第47-49页 |
| 5.5 Cu、Zn、Mn掺杂对BFO薄膜铁电性能的影响 | 第49-50页 |
| 5.6 本章小结 | 第50-51页 |
| 第6章 结论 | 第51-53页 |
| 6.1 主要结论 | 第51页 |
| 6.2 主要创新点 | 第51-52页 |
| 6.3 工作展望 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 硕士期间成果 | 第60页 |
